粗逼近马达可脱离扫描结构的扫描探针显微镜镜体制造技术

本发明专利技术粗逼近马达可脱离扫描结构的扫描探针显微镜镜体包括压电定位器，样品座，探针座，粗逼近马达，其特征是还包括导轨，粗逼近马达和压电定位器设置于导轨上，样品座和探针座双方之一设置于压电定位器上，另一方设置于导轨上，样品座、探针座和压电定位器三者之一作为动体受粗逼近马达推动沿导轨进行样品座和探针座间的粗逼近，粗逼近马达在回撤时与动体分开，独自回撤。动体和粗逼近马达间可连松弛的绳子，动体在粗逼近马达回撤时不立即随之回撤，而是等粗逼近马达回撤到把绳子拉直后才由绳子拖着回撤。本发明专利技术能阻止粗逼近马达的不稳定性如热漂移、机械振动等传到扫描结构中，大大改善成像质量、减少畸变，尤适于变温变场等环境剧变的情况。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种扫描探针显微镜镜体，特别涉及一种粗逼近马达可脱离扫描结构的扫描探针显微镜镜体，属于扫描探针显微镜

技术介绍
扫描探针显微镜(scanning probe microscope,简称SPM)以其真实空间中无可争议的原子分辨能力而在纳米技术、原子操纵、量子调控、分子生命科学、材料和表面催化化学等众多国家科技战略领域发挥重要作用。但其发展至今仍有一些重大问题没有得到很好的解决，其中具代表性的一个就是稳定性问题。扫描探针显微镜的核心结构(见附图I)是通过粗逼近马达把驱动探针相对于样品扫描的扫描结构(以下简称扫描结构)中的探针和样品逼近到微观的探针-样品局域作 用(Iocalinteraction)距离(通常是纳米或更小的距离，例如扫描隧道显微镜中探针与样品间产生隧道电流这一局域作用的探针-样品间距一般为几个原子的距离；原子力显微镜中探针与样品间产生原子力这一局域作用的探针-样品间距一般也为几个原子的距离)；之后，扫描结构就可以驱动探针相对于样品表面扫描了。在现有技术中，粗逼近马达不仅要求能实现上述粗逼近过程，也要求能把探针和样品从逼近状态分开到相隔较远的安全距离本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种粗逼近马达可脱离扫描结构的扫描探针显微镜镜体，包括压电定位器，样品座，探针座，粗逼近马达，其特征在于还包括导轨，所述粗逼近马达和压电定位器设置于导轨上，所述样品座和探针座双方之一设置于压电定位器上，另一方设置于导轨上，样品座、探针座和压电定位器三者之一作为动体受粗逼近马达推动沿导轨方向进行样品座和探针座间的粗逼近，粗逼近马达在回撤时与动体分开，独自回撤，动体不随之回撤。

【技术特征摘要】
1.一种粗逼近马达可脱离扫描结构的扫描探针显微镜镜体，包括压电定位器，样品座，探针座，粗逼近马达，其特征在于还包括导轨，所述粗逼近马达和压电定位器设置于导轨上，所述样品座和探针座双方之一设置于压电定位器上，另一方设置于导轨上，样品座、探针座和压电定位器三者之一作为动体受粗逼近马达推动沿导轨方向进行样品座和探针座间的粗逼近，粗逼近马达在回撤时与动体分开，独自回撤，动体不随之回撤。2.根据权利要求I所述的粗逼近马达可脱离扫描结构的扫描探针显微镜镜体，其特征是样品座和探针座中设置于导轨上的一方和导轨之间增设另一压电定位器。3.根据权利要求I或2所述的粗逼近马达可脱离扫描结构的扫描探针显微镜镜体，其特征是所述压电定位器为一维或二维或三维压电定位器。4.根据权利要求I或2所述的粗逼近马达可脱离扫描结构的扫描探针显微镜镜体，其特征是所述的粗逼近马达为压电马达。5.根据权利要求4所述的粗逼近马达可脱离扫描结构的扫描探针显微镜镜体，其特征是所述压电马达为双压电体并排推动的三摩擦力步进器，或者其基座固定于所述导轨上，或者其滑杆与所述导轨为一体。6.一种粗逼近马达可脱离扫描结构的扫描探针显微镜...

【专利技术属性】
技术研发人员：王琦，陆轻铀，
申请(专利权)人：中国科学技术大学，
类型：发明
国别省市：