温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明粗逼近马达可脱离扫描结构的扫描探针显微镜镜体包括压电定位器，样品座，探针座，粗逼近马达，其特征是还包括导轨，粗逼近马达和压电定位器设置于导轨上，样品座和探针座双方之一设置于压电定位器上，另一方设置于导轨上，样品座、探针座和压电定位器三...
该专利属于中国科学技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学技术大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。