【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种夹持装置，且特别涉及一种用于超声检测的通用夹持装置。
技术介绍
随着半导体器件工艺的发展，超声波扫描检测(C-SAM)越来越成为产品可靠性测试工艺步骤中不可缺少的一个环节。超声波在行经介质时，若遇到不同密度或弹性系数物质时，会产生反射回波，而这种反射回波的强度会因为材料密度的不同而有所差异。C-SAM就是利用该特性来检出材料 内部的缺陷并依所接收之讯号变化将之成像。因此，只要被检测的集成电路表面或内部芯片有脱层、气孔、裂缝等缺陷时，通过C-SAM影像就能够得知缺陷的相对位置，从而实现对产品的检测。随着产品越来越先进，封装形式越来越高端，对C-SAM测试的要求也越来越高，其中之一就体现在产品封装时的大小差异使得对于每一种产品往往需要设计一个单独的C-SAM夹持装置来满足检测的要求。参考图I，在目前常用的C-SAM夹持装置100中，为了实现有效夹持，用于放置产品的放置区101和用于隔离产品的隔离区102具有固定的形状和大小，使得能够采用该C-SAM夹持装置100的产品的尺寸和形状也相对固定。也就是说，只有当产品的形状和尺寸与这种现有C-SAM夹持装置相...
【技术保护点】
一种通用夹持装置，其特征在于，至少包括：采用永磁材料或铁磁性材料的底板，用于承托待检测产品；第一挡条，固接于所述底板，用于固定所述待检测产品；以及与所述底板相匹配的第二挡条，磁性连接于所述底板，并且通过调整所述第二挡条的位置，使得待检测产品被固定于所述第一挡条和所述第二挡条之间。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：钱燕妮，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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