集成式磁力计及其制造方法技术

技术编号:8165569 阅读:194 留言:0更新日期:2013-01-08 12:23
一种集成式磁力计,所述磁力计包括多个沉积在基本平坦的衬底表面上的多个多层磁电阻传感器,所述表面称为顶面,其特征在于:所述衬底的所述顶面具有至少一个具有多个斜面的腔或凸起,并且至少四个所述磁电阻传感器置于所述四个斜面上,所述斜面具有不同的取向且彼此成对相对,各传感器对外部磁场的一个分量灵敏,所述外部磁场分量平行于各传感器所置于的面。还提供了一种用于制造这样磁力计的方法。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及ー种具有两轴或三轴的集成式磁力计,以及ー种制造该集成式磁力计的方法。
技术介绍
在现有技术中,已知制造基于多层磁阻传感器的集成式磁力计,该集成式磁力计利用了巨磁电阻效应或利用隧道磁电阻效应。例如,可參考以下的文献-M. Hehnj F. Montaigne 矛ロ A. Schuhl iiMagnetoresistance geante et electroniquedespin (巨磁电阻矛ロ自方定电于学),,,,Techniques de I ’ Ingenieur,E2 135,第——章矛ロ第二章;-J. Daughton 等,“Magnetic Field Sensors Using GMR Multilayer (利用 GMR 多层的磁场传感器)”,IEEE transactions on magnetics,第 30 卷,第 6 号,1994 年 11 月;和-M. Tondar 等,“Picotesla field sensor design using spin-dependenttunneling devices (利用自旋依赖穿隧装置的Picotes本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:阿兰·舒尔吉勒斯·高登菲利普·萨邦皮埃尔让·泽尔马顿弗朗索瓦·蒙田
申请(专利权)人:国家科学研究中心原子能与替代能源委员会
类型:
国别省市:

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