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一种集成式磁力计,所述磁力计包括多个沉积在基本平坦的衬底表面上的多个多层磁电阻传感器,所述表面称为顶面,其特征在于:所述衬底的所述顶面具有至少一个具有多个斜面的腔或凸起,并且至少四个所述磁电阻传感器置于所述四个斜面上,所述斜面具有不同的取向...该专利属于国家科学研究中心;原子能与替代能源委员会所有,仅供学习研究参考,未经过国家科学研究中心;原子能与替代能源委员会授权不得商用。
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一种集成式磁力计,所述磁力计包括多个沉积在基本平坦的衬底表面上的多个多层磁电阻传感器,所述表面称为顶面,其特征在于:所述衬底的所述顶面具有至少一个具有多个斜面的腔或凸起,并且至少四个所述磁电阻传感器置于所述四个斜面上,所述斜面具有不同的取向...