旋转阳极的具有微结构的光轨道制造技术

本发明专利技术涉及一种旋转阳极（1），具有光轨道（3），该光轨道局有存在于其表面（2）上的微结构（4），其中，所述微结构（4）借助反应性离子深度蚀刻制成。在一种用于制造这种旋转阳极（1）的方法中，借助反应性离子深度蚀刻制造所述的微结构（4）。本发明专利技术尤其有利地用于医学的X射线设备。

【技术实现步骤摘要】
旋转阳极的具有微结构的光轨道
本专利技术涉及一种旋转阳极，它在光轨道（Brennbahn）的表面上有微结构。本专利技术还涉及一种X射线设备，它有至少一个这种旋转阳极。此外本专利技术涉及一种制造旋转阳极的方法，该方法包括在旋转阳极光轨道的表面上加工微结构。本专利技术尤其有利地用于医学的X射线设备。
技术介绍
在借助旋转阳极产生医学用途的X射线时，尤其典型地有钨的光轨道遭受高的热负荷。在形成X射线时（其中高能电子通过光轨道制动以及产生X射线作为韧致辐射），在光轨道上温度可达2500℃以上。这会导致光轨道提前老化。老化的光轨道表现为严重的裂纹形成和基于其钨组织的再结晶出现巨晶粒生长，其中，X射线的剂量率随裂纹形成的增加而降低。裂纹的形成可解释为是由于高的周期性热负荷（在旋转阳极典型地具有在100与20Hz之间的频率时），其中再结晶的钨组织在快速的拉和压应力序列下破坏。钨组织的这种毁坏可发展到，甚至整个颗粒或区域从光轨道脱落，这进一步减小剂量率。此时旋转阳极必须交付维修。为了延长钨光轨道的使用寿命，可以使用ODS（OxideDispersedStrengthening）法或VPS（Vakuu本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种旋转阳极（1），具有光轨道（3），所述光轨道具有存在于其表面（2）上的微结构（4），其特征为：所述微结构（4）借助反应性离子深度蚀刻制成。

【技术特征摘要】
2011.07.01 DE 102011078520.51.一种旋转阳极(1)，具有光轨道(3)，所述光轨道具有存在于其表面(2)上的微结构(4)，其特征为：所述微结构(4)借助反应性离子深度蚀刻制成，其中，所述微结构包括齿纹。2.按照权利要求1所述的旋转阳极(1)，其特征在于，所述微结构(4)具有的深度(t)至少为40微米。3.按照权利要求2所述的旋转阳极(1)，其特征在于，所述深度(t)至少为50微米。4.按照权利要求2所述的旋转阳极(1)，其特征在于，所述深度(t)达150微米。5.按照权利要求4所述的旋转阳极(1)，其特征在于，所述深度(t)达100微米。6.按照权利要求1所述的旋转阳极(1)，其特征在于，所述微结构(4)具有的宽度(b)在2微米与15微米之间。7.按照权利要求6所述的旋转阳极(1)，其特征在于，所述宽度(b)在3微米与10微米之间。8.按照权利要求7所述的旋转阳极(1)，其特征在于，所述宽度(b)在5微米与10微米之间。9.按照权利要求1所述的旋转阳极(1)，其特征在于，所述微结构(4)具有至少一个沟(5)。10.按照权利要求9所述的旋转阳极(1)，其特征在于，所述至少一个沟(5)具有多个布设成网格模式的沟(5)。11.按照权利要求10所述的旋转阳极(1)，其特征在于，基本上互相平行延伸的相邻沟(5)的间距(d)在100微米与300微米之间。12.按照...

【专利技术属性】
技术研发人员：J弗罗伊登伯格，S兰彭舍夫，W沙夫，S沃尔特，
申请(专利权)人：西门子公司，
类型：发明
国别省市：