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旋转阳极的具有微结构的光轨道制造技术
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文档序号:8162437
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本发明涉及一种旋转阳极(1),具有光轨道(3),该光轨道局有存在于其表面(2)上的微结构(4),其中,所述微结构(4)借助反应性离子深度蚀刻制成。在一种用于制造这种旋转阳极(1)的方法中,借助反应性离子深度蚀刻制造所述的微结构(4)。本发明...
该专利属于西门子公司所有,仅供学习研究参考,未经过西门子公司授权不得商用。
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