一种具有计量转轴的高精度x射线显微镜扫描样品台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种具有计量转轴的高精度x射线显微镜扫描样品台，扫描转台(2)安装在固定底座(1)上，固定底座(1)外部安装扫描转台(2)的驱动装置，驱动扫描转台(2)转动，扫描转台(2)上部固定安装三维定位平台(6)，固定底座(1)外侧安装传感器安装座(3)，传感器安装座(3)上分别安装z向跳动误差测量传感器(4)、x向跳动误差测量传感器(8)、第一摆动误差测量传感器(5)、第二摆动误差测量传感器(7)及第三摆动误差测量传感器(9)，根据各传感器测量误差的大小，可采用主动修正控制方法对扫描转台(2)进行误差修正，也可采用数学算法在三维图像重构过程中对跳动误差进行修正，即可减小或消除由转台转轴的位置误差精度而导致扫描图像失真问题。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于显微CT扫描成像
，特别涉及一种具有计量转轴的高精度X射线显微镜扫描样品台。
技术介绍
近年来显微CT技术在科研和工业领域日益受到重视，其应用领域涵盖了新型材料、半导体/微电子、石油/采矿/地质、考古/文物、生物/医疗、生命科学、食品检测、空间技术、军工/国防等多个领域。因此，产品有着巨大的潜在市场规模。由于X射线的穿透特点，使得复杂零件内部结构的测量成为可能。恰好弥补了三坐标测量机等传统精密测量仪器只能对外部尺寸进行测量的先天不足。 图I为X射线扫描成像原理图。X射线源发出的X射线穿透样品后进入成像系统，通过成像系统处理后即可获得扫描图像。实际中，由于扫描样品台的精度所限，在扫描过程中往往由于转轴的跳动和摆动，使得上述要求难以满足，导致图像的重构出现误差或失真。因而，样品台的转轴的位置精度对扫描后的成像是否存在失真起到至关重要的作用。CT扫描样品台的精度误差主要由关键零部件在其加工与装配过程中产生，导致样品在扫描过程中观测中心出现径向跳动、轴向跳动以及轴线摆动，转台旋转过程中转轴的位置误差将导致样品位置的偏移，进而导致成像误差。通用扫描样品台的精度一般难以满足高分本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有计量转轴的高精度x射线显微镜扫描样品台，其特征在于，扫描转台(2)安装在固定底座(1)上，固定底座(1)外部安装扫描转台(2)的驱动装置，驱动扫描转台(2)转动，扫描转台(2)上部固定安装三维定位平台(6)，固定底座(1)外侧安装传感器安装座(3)，传感器安装座(3)上分别安装z向跳动误差测量传感器(4)、x向跳动误差测量传感器(8)、第一摆动误差测量传感器(5)、第二摆动误差测量传感器(7)及第三摆动误差测量传感器(9)，z向跳动误差传感器(4)用于测量样品台转轴的z向径向跳动误差，x向跳动误差测量传感器(8)用于测量样品台转轴的x向径向跳动误差，第一摆动误差测量传感器(5)、第二摆...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：须颖，董友，
申请(专利权)人：东营市三英精密工程研究中心，
类型：实用新型
国别省市：