下载一种具有计量转轴的高精度x射线显微镜扫描样品台的技术资料

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本实用新型公开了一种具有计量转轴的高精度x射线显微镜扫描样品台,扫描转台(2)安装在固定底座(1)上,固定底座(1)外部安装扫描转台(2)的驱动装置,驱动扫描转台(2)转动,扫描转台(2)上部固定安装三维定位平台(6),固定底座(1)外侧安...
该专利属于东营市三英精密工程研究中心所有,仅供学习研究参考,未经过东营市三英精密工程研究中心授权不得商用。

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