一种石英坩埚质量缺陷检验装置制造方法及图纸

技术编号:8148125 阅读:232 留言:0更新日期:2012-12-28 17:56
本实用新型专利技术公开了一种石英坩埚质量缺陷检验装置,包括:用于放置石英坩埚的坩埚支撑架;用于覆盖在所述石英坩埚上的灯罩密封盖板,所述灯罩密封盖板与所述石英坩埚相对的一侧设置有强光灯。通过强光灯在密封的石英坩埚的内部发光,外部观测透光电强度快速判断石英坩埚壁凹坑、裂纹、壁薄超差等,从而实现了无损伤、无接触检测石英坩埚的检验目的。本实用新型专利技术提供的石英坩埚质量缺陷检验装置,结构设计简单,操作方便,能够降低工人劳动强度,消除酒精污染,检测成本低,检测精度高,可完全检出石英坩埚微小裂纹、凹凸不平、黑斑等缺陷,为确保铸锭质量,避免铸锭泄露事故起到了保障作用。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及石英坩埚
,特别涉及一种石英坩埚质量缺陷检验装置
技术介绍
多晶硅铸锭用石英坩埚是目前熔铸多晶硅唯一能用于装填高纯硅料的容器,是多晶硅片生产中不可替代的关键耗材。石英坩埚不仅要求原料纯度高,使用环境苛刻,还对外观提出了严格要求。一般石英坩埚不允许有任何缺陷(无污染、无气孔、无裂纹、凹凸起伏不大于2毫米)。目前,石英坩埚的内在质量均由制造厂家控制,其外观质量在出厂后的检验并没有专用仪器或设施。现在太阳能硅片制造厂家普遍采用的质量检测方法是在石英坩埚喷 涂之前,采取在其坩埚壁内外刷酒精,借助手电筒或灯光做目视外观检查,很难查出微小的裂纹和凹凸不平缺陷。可见,现有的质量检验方法较为笨拙,操作起来费时费力,工作效率低;同时检测一个石英坩埚大概需要酒精500毫升浪费能源,检测成本高使用酒精对环境有污染,不符合环保理念;更为重要的是,这种质量检验方法不够精确,不易全部检测出石英坩埚内部片裂纹、凹凸、黑斑结点等缺陷,不能实现质量把关作用,在实际生产铸锭过程中曾多次出现过铸锭粘锅、裂纹,甚至整锭泄露事故,给企业造成了严重的经济损失。因此,改进石英坩埚质量缺陷检验装置及方法,简化操本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石英坩埚质量缺陷检验装置,其特征在于,包括:用于放置石英坩埚(1)的坩埚支撑架(2);用于覆盖在所述石英坩埚(1)上的灯罩密封盖板(3),所述灯罩密封盖板(3)与所述石英坩埚(1)相对的一侧设置有强光灯(4)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:冯文宏朱国新
申请(专利权)人:保定天威英利新能源有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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