【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种晶圆清洗刷，包括外表面带有刷毛的刷筒和刷筒轴，所述刷筒套设于所述刷筒轴的外侧，其特征在于，所述刷筒轴的中心部位的直径小于所述刷筒轴的两端的直径。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：董文杰，王怀锋，余文军，黄孝鹏，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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