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本实用新型公开了一种晶圆清洗刷，包括外表面带有刷毛的刷筒和刷筒轴，所述刷筒套设于所述刷筒轴的外侧，所述刷筒轴的中心部位的直径小于所述刷筒轴的两端的直径。本实用新型还公开了一种晶圆清洗装置，包括如上所述的晶圆清洗刷。本实用新型通过采用中心部位...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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