【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅片预清洗工装，特别是一种预清洗晶托支撑装置。
技术介绍
在对硅片进行脱胶预清洗时，都要把晶托放置在上料车上，再推到清洗机中进行预清洗。之前都是使用羊角螺丝把贯穿晶托的支撑杆与滑杆连接起来，由于羊角螺丝与支撑杆是分开的，容易丢失。再有，螺母长期工作，会导致螺纹滑牙、无法拧紧，以至于晶托会在工装上产生晃动，碰到上料车的两侧挡杆，导致碎片，支撑杆偏动多了可能导致晶棒从工装上掉落，造成生产事故，严重影响经济损失。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种预清洗晶托支撑装置，方便预清洗。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是一种预清洗晶托支撑装置，包括上料车架体、固定在上料车架体上的两根平行的滑杆以及装载在上料车内的晶托，晶托通过至少两根支撑杆架设在两根滑杆上，支撑杆包括贯穿晶托的直杆部，在直杆部的一端设置固定卡槽，每两个支撑杆为一对，彼此反向设置，支撑杆的固定卡槽通过内壁卡在滑杆上。在直杆部上还设置有限位块，限位块位于固定卡槽的前方。本技术的有益效果是该装置结构简单，操作方便，还能降低硅片的破碎率，节约成本。以下结合附图和实施例对本技术进一步说明；图I是本技术的结构示意图；图2是本技术的使用状态图；图I中I.直杆部，2.固定卡槽，3.限位块，4.晶托，5.滑杆，6.上料车架体，7.支撑杆。具体实施方式如图I和2所示，一种预清洗晶托支撑装置，包括上料车架体6、固定在上料车架体6上的两根平行的滑杆5以及装载在上料车内的晶托4，晶托4通过至少两根支撑杆7架设在两根滑杆5上，支撑杆7包括贯穿晶托4的贯穿孔的直杆部1，在直杆部I的一端设置固定卡槽2，每两个支撑...
【技术保护点】
一种预清洗晶托支撑装置，包括上料车架体(6)、固定在上料车架体(6)上的两根平行的滑杆(5)以及装载在上料车内的晶托(4)，其特征是：所述的晶托(4)通过至少两根支撑杆(7)架设在两根滑杆(5)上，支撑杆(7)包括贯穿晶托(4)的直杆部(1)，在直杆部(1)的一端设置固定卡槽(2)，每两个支撑杆(7)为一对，彼此反向设置，支撑杆(7)的固定卡槽(2)通过内壁卡在滑杆(5)上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：何振兴，
申请(专利权)人：常州天合光能有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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