【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及微成形领域,特指一种红外加热金属箔板气压成形的方法及装置,其适用 金属箔板的快速成形,结合红外加热和气压成形技术,特别适合成形能力低的金属箔板微 成形。
技术介绍
随着工业技术的迅速发展,微器件在航空航天、精密仪器、生物医疗等领域的应用越来 越广泛,对各种材料的微型零件需求量越来越大,同时对微器件的加工工艺、加工成本和 批量等也提出了新的要求。现有的面向MEMS的微机械加工技术和工艺是在集成电路的基 础上发展起来的,主要依赖于LIGA、光刻、蚀刻等微细加工技术,受到加工效率低、成本 高、污染环境等问题的限制难以满足产业化生产要求。因此,微细加工技术迫切需要探索 新的微成形工艺。为了克服以上弊端,基于传统的塑性成形工艺迅速发展起来,结合塑性加工方法的微塑 性成形技术可以精密成形各种三维复杂形状的微金属和非金属零件。零件的尺寸可以达到 500nm到500ym范围,具有周期短、工艺简单、成本低、近净成形、零件精度高的特点, 特别适于微构件的批量生产。金属箔板的微成形作为微塑性成形领域一个重要分支,其应 用范围非常广泛。但目前的微塑性成形也存在一些问题, ...
【技术保护点】
一种红外加热金属箔板气压成形的方法,其特征在于,利用红外热源对金属箔板精确加热,再利用高压气体对软化的金属箔板加压,配合微型模具,实现金属箔板的精密成形。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:刘会霞,杨昆,陈成,沈宗宝,邢安,李保春,王霄,
申请(专利权)人:江苏大学,
类型:发明
国别省市:32[]
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