自动预测设计空间估计的方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术阐述用于自动预测设计空间估计的基于计算机的方法及装置，包括计算机程序产品。针对实体处理程序估计输入因子及输出响应的设计空间。接收针对实体处理程序的一个或多个输入因子、该处理程序的一个或多个输出响应及准则的数据。针对该一个或多个输入因子中的每个，计算对应的实验输入值范围内的所计算的输入值范围。针对该一个或多个输入因子中的每个计算一经修改的输入值范围。至少基于这些经修改的输入值范围来预测一设计空间估计，其中这些经修改的输入值范围各自包含其中满足这些准则的这些输入因子中的一个或者多个的最大可变性区域。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术总体涉及用于自动预测设计空间估计的基于计算机的方法及装置，包括计算机程序产品。
技术介绍
在制药工业中，质量源于设计(QbD)已成为演化处理程序。QbD指从起初到最终输出在产品中构建质量的系统的处理。特定而言，QbD指用以确定可在生产处理程序中转换成成品的产品的操作要求(及其向设计要求中的并入)的设计功能的效果水平。这通常称作设计空间，其已被证明是提供质量保证的输入因子(例如 ，材料属性)的多维组合及交互作用。举例而言，针对制造处理程序，设计空间是满足具体产品要求(一个或多个输出响应)的可能设计与设计参数(输入因子)的集合。探索设计空间需要估计对于给定技术可具有的各种设计选项并使输入因子及输出响应相对于具体约束(例如，功率、成本、混合设计)最佳化。在半导体器件制造工业中，器件制造商已通过依赖处理工具制造商来设计更好和/或更快处理程序及硬件配置来过渡至更紧密容差处理程序及材料规格。然而，随着器件几何结构收缩至纳米尺度，制造处理的复杂度增大，且处理及材料规格变得更难以满足。可通过几千个处理变量的集合来描述用在当前半导体制造的典型处理工具。这些变量通常与该制造处理的实体参数和/本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：E·C·维克斯特姆，H·G·J·松德斯特伦，T·A·B·诺达尔，
申请(专利权)人：MKS仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：