脱模处理方法、模具、防反射膜的制造方法、脱模处理装置以及模具的清洗干燥装置制造方法及图纸

本发明专利技术的脱模处理方法包含：准备包含具有脱模性的氟类化合物和溶剂的脱模剂和表面具有多孔氧化铝层(14)的模具(100)的工序；对模具(100)的表面施与能溶解氟类化合物的溶剂的工序；以及之后对模具(100)的表面利用喷涂法施与脱模剂的工序。根据本发明专利技术，能够没有不均地对表面具有多孔氧化铝层(14)的模具的表面进行脱模处理。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及脱模处理方法、模具、防反射膜的制造方法、脱模处理装置以及模具的清洗干燥装置。此处所说的“模具”包含用于各种加工方法(压印、铸造)的模具，有时也称为压模。另外，也能够用于印刷(包括纳米印刷)。
技术介绍
通常，为了减少表面反射、提高光的透射量，对用于电视、手机等的显示装置和照相机镜头等光学元件实施防反射技术。因为例如像光入射到空气和玻璃的界面的情况那样，在光通过折射率不同的介质的界面的情况下，由于菲涅尔反射等，光的透射量减少，视觉识别性下降。近年来，作为防反射技术，在基板表面形成将凹凸的周期控制在可见光的波长(入 =380nm 780nm)以下的微细凹凸图案的方法受到关注(参照专利文献I至4)。构成发挥防反射功能的凹凸图案的凸部的二维大小为IOnm以上且不到500nm。该方法利用了所谓的蛾眼(Motheye，蛾子的眼)结构的原理，使入射到基板的光对应的折射率沿着凹凸的深度方向从入射介质的折射率连续地变化至基板的折射率，由此抑制想要防止反射的波段的反射。除了能够涵盖较宽的波段发挥入射角依赖性小的防反射作用以外，蛾眼结构还具有能够应用于较多的材料、能够直接在基板上形成凹凸图案等优点。其结果是，能够以低成本提供高性能的防反射膜(或防反射表面)。作为蛾眼结构的制造方法，使用通过对铝进行阳极氧化而得到的阳极氧化多孔氧化铝层的方法受到关注(专利文献2至4)。在此，简单地说明通过对铝进行阳极氧化而得到的阳极氧化多孔氧化铝层。以往，利用了阳极氧化的多孔质结构体的制造方法作为能够形成有规则地排列的纳米级的圆柱状细孔(微细凹部)的简易方法而受到关注。当在硫酸、草酸或磷酸等酸性电解液或碱性电解液中浸溃基材，将其作为阳极施加电压时，能够在基材的表面同时进行氧化和溶解，在其表面形成具有细孔的氧化膜。该圆柱状细孔相对于氧化膜垂直地取向，在一定的条件下(电压、电解液的种类、温度等)表现出自组织的规则性，因此期待着应用于各种功能材料。在特定的条件下形成的多孔氧化铝层，当从垂直于膜面的方向看时，为大致正六边形的单元在二维上以最高密度填充的排列。各个单元在其中央具有细孔，细孔的排列具有周期性。单元是局部的皮膜的溶解和生长的结果所形成的，在被称为阻挡层的细孔底部，皮膜的溶解和生长同时进行。已知这时单元的尺寸，即相邻的细孔的间隔(中心间距离)相当于阻挡层的厚度的大致2倍，与阳极氧化时的电压大致成比例。另外，已知细孔的直径依赖于电解液的种类、浓度、温度等，但通常为单元的尺寸(从垂直于膜面的方向看时的单元的最长对角线的长度)的1/3的程度。这种多孔氧化铝的细孔在特定的条件下形成具有高规则性(具有周期性)的排列，另外，根据条件形成某种程度规则性紊乱的排列，或形成不规则(不具有周期性)的排列。专利文献2公开了使用表面具有阳极氧化多孔氧化铝膜的压模来形成防反射膜(防反射表面)的方法。另外，在专利文献3中公开了通过反复进行铝的阳极氧化和孔径扩大处理来形成细孔孔径连续地变化的锥形形状的凹部的技术。本申请人在专利文献4中公开了使用微细凹部具有阶梯状侧面的氧化铝层来形成防反射膜的技术。另外，如专利文献1、2以及4所记载的那样，通过在蛾眼结构(微观结构)的基础上又设置比蛾眼结构大的凹凸结构(宏观结构)，能够对防反射膜(防反射表面)施与防眩功能。构成发挥防眩功能的凹凸的凸部的二维大小为Iym以上且不到100 μπι。为了参考，将专利文献1、2以及4的全部公开内容引用到本说明书。 通过利用阳极氧化多孔氧化铝膜，能够容易地制造用于在表面形成蛾眼结构的模具(以下称为“蛾眼用模具”。)。特别是若如专利文献2和4所记载的那样，将铝的阳极氧化膜的表面原样作为模具来利用，则减少制造成本的效果较大。将能够形成蛾眼结构的蛾眼用模具的表面的结构称为“反转的蛾眼结构”。作为使用了蛾眼用模具的防反射膜的制造方法，已知使用光固化性树脂的方法。首先在基板上施与光固化性树脂。接着，通过将实施了脱模处理的蛾眼用模具的凹凸表面在真空中按压于光固化性树脂，在蛾眼用模具的表面的凹凸结构中填充光固化性树脂。接着，对凹凸结构中的光固化性树脂照射紫外线，将光固化性树脂固化。之后，通过将蛾眼用模具从基板分离，在基板的表面形成转印了蛾眼用模具的凹凸结构的光固化性树脂的固化物层。使用了光固化性树脂的防反射膜的制造方法记载于例如专利文献4中。作为具有用于防反射膜的制造的多孔氧化铝层的模具的脱模处理，例如在专利文献5中记载了通过利用喷涂法施与氟类的脱模剂来进行脱模处理。现有技术文献专利文献专利文献I :特表2001-517319号公报专利文献2 :特表2003-531962号公报专利文献3 :特开2005-156695号公报专利文献4 :国际公开第2006/059686号专利文献5 :国际公开第2008/001847号
技术实现思路
专利技术要解决的问题但是，本专利技术人在尝试利用喷涂法对蛾眼用模具施与脱模剂时产生脱模剂的涂敷不均等，很难均匀地实施脱模处理。该问题不限于蛾眼用模具，而是表面具有具备亚微米级的微细凹部的多孔氧化铝层的模具的共同的问题。本专利技术的主要目的在于，提供即使通过利用喷涂法对表面具有多孔氧化铝层的模具的表面施与脱模剂也能没有不均地进行脱模处理的方法。用于解决问题的方案本专利技术的脱模处理方法包含工序(a)，准备包含具有脱模性的氟类化合物和溶剂的脱模剂和表面具有多孔氧化铝层的模具；工序(b)，对上述模具的上述表面施与能够溶解上述氟类化合物的溶剂；以及工序(C)，在上述工序(b)之后，利用喷涂法对上述模具的上述表面施与上述脱模剂。在某实施方式中，上述工序(b)中使用的上述溶剂是与上述脱模剂中包含的上述溶剂相同的溶剂。在某实施方式中，上述脱模剂中包含的上述溶剂是氟类溶剂。在某实施方式中，上述工序(C)在能够溶解上述氟类化合物的溶剂的气氛中进行。在某实施方式中，还包含工序(d):在上述工序(C)之后，冲洗上述模具的上述表面。在某实施方式中，还包含工序(e):在上述工序(C)和上述工序⑷之间，焙烤上述模具的上述表面。在某实施方式中，包含工序(f):在上述工序(a)和工序(b)之间，清洗上述模具的上述表面。在某实施方式中，上述工序(f)使用二流体喷嘴来进行。在某实施方式中，上述多孔氧化铝层在表面具有反转的蛾眼结构，上述反转的蛾眼结构具有从表面的法线方向看时的二维大小为50nm以上且不到500nm的多个凹部。本专利技术的模具在表面具有多孔氧化铝层，利用上述的任一项所述的脱模处理方法来进行脱模处理。本专利技术的防反射膜的制造方法包含准备上述的模具和被加工物的工序；以及在上述模具和上述被加工物的表面之间施与了紫外线固化树脂的状态下，通过对上述紫外线固化树脂照射紫外线，将上述紫外线固化树脂固化的工序。本专利技术的脱模处理装置是对模具的表面进行脱模处理的装置，具备脱模剂喷嘴，其将包含具有脱模性的氟类化合物和溶剂的脱模剂施与到模具的表面；溶剂喷嘴，其将能够溶解上述氟类化合物的溶剂施与到模具的表面；施与室，其配置有上述脱模剂喷嘴和上述溶剂喷嘴；以及溶剂槽，其存留有能够溶解上述氟类化合物的溶剂，上述溶剂槽内的溶剂汽化，从而在上述施与室内形成上述溶剂的气氛，利用上述溶剂喷嘴对上述模具的上述表面施与上述溶剂后，在上述溶剂的上述施与室本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：林秀和，今奥崇夫，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：