线锯制造技术

本发明专利技术提供一种利用切断用锯丝切断工件的线锯，能以高响应性进行锯丝张力的调整。该线锯具备第1及第2工件切断部（1A、1B）。各工件切断部（1A、1B）分别包含一对导轮（10a、10b），在这些导轮上挂设锯丝（W）而形成工件切断用的锯丝群。该线锯还具备在工件切断部（1A、1B）之间检测锯丝（W）的张力的张力检测器（18）和控制装置（50）。控制装置（50）基于张力检测器（18）检测的张力，变更至少其中之一工件切断部的导轮（10a、10b）的旋转速度，以使该张力在容许范围内。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及利用切断用锯丝来切断半导体晶锭(ingot)等工件的线锯。
技术介绍
以往，作为将半导体晶锭等工件切断为薄片(slice)状的装置已知线锯(wiresaw)。该线锯具备多个导轮(guide roller)和对这些导轮进行旋转驱动的马达等，在上述导轮之间卷挂切断用锯丝，从而形成该锯丝排列成多根的锯丝群。在该线锯中，上述锯丝沿其轴方向高速走丝，一边工件向由该锯丝形成的锯丝群以与锯丝轴方向垂直的方向切断送出，从而工件同时被切断为多个晶片(wafer)。作为此种线锯之一，例如已知有专利文献I所示的结构。此文献中所记载的线锯，包括具备多个导轮的第I工件切断部和第2工件切断部(主滚轮部)、以及一对锯丝送出/ 卷取装置，从其中一个锯丝送出/卷取装置送出的一根切断用锯丝挂于各工件切断部的导轮之间，并被另一个锯丝送出/卷取装置卷取。据此，在各工件切断部分别形成用于切断工件的锯丝群。一般来讲，在线锯中重要的是适当地保持切断用锯丝的张力。然而，如上述专利文献I中所记载，在具备两个工件切断部的线锯中，由于其锯丝走丝方向上游侧的工件切断部的切断作业的影响，被导入至该方向下游侧的工件切断部的切断用锯丝的张力会变动。作为抑制该张力变动的方法，在专利文献I中公开了在两个工件切断部之间检测切断用锯丝的张力的张力检测器、和基于其检测值控制该张力的张力调整机构。该张力调整机构具备用于挂设上述切断用锯丝的一对调节滚轮(dancer roller)、以及在这些调节滚轮之间被按压于上述切断用锯丝而使该切断用锯丝的张力变化的臂(arm)，并且，以适当保持被导入至下游侧的切断用锯丝的张力的方式工作。然而，在该线锯中，在上述张力检测器检测出的切断用锯丝的张力变动时，张力调整机构才运行，因此难以获得高响应性。专利文献I :日本专利公开公报特开2000-61805号
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种具备第I工件切断部及第2工件切断部的线锯，能以高响应性(response)适当调整在两个工件切断部之间的切断用锯丝的张力的线锯。本专利技术所涉及的线锯，包括锯丝送出装置，送出切断用锯丝；第I工件切断部，具备多个第I导轮和旋转驱动这些第I导轮的第I驱动部，通过从上述锯丝送出装置送出的切断用锯丝卷绕于上述各第I导轮而形成工件切断用的锯丝群；第2工件切断部，具备多个第2导轮和旋转驱动这些第2导轮的第2驱动部，通过从第I工件切断部导出的上述切断用锯丝卷绕于上述各第2导轮而形成工件切断用的锯丝群；锯丝卷取装置，卷取从上述第2工件切断部导出的切断用锯丝；张力检测器，检测在上述第I工件切断部与上述第2工件切断部之间的上述切断用锯丝的张力；以及控制装置，分别调节由上述第I驱动部及上述第2驱动部旋转驱动的上述第I导轮及上述第2导轮的旋转驱动速度。上述控制装置变更上述第I导轮和上述第2导轮中的至少一个的旋转速度，以使上述张力检测器检测的张力在指定范围内。附图说明图I是表示本专利技术的实施方式所涉及的线锯的整体结构的概略图。图2是表示上述线锯所包含的第I工件切断部与第2工件切断部之间的切断用锯丝的张力控制的一例的流程图。图3是表示被导入至上述线锯的张力变动缓和机构的一例的示意图。 图4(a)是表示与图3所示的张力变动缓和机构不同的张力变动缓和机构的一例的正视图，(b)是其侧视剖面图。具体实施例方式使用附图说明本专利技术的具体实施方式。图I概略地表示本实施方式所涉及的线锯的整体。该线锯包括上下两段工件切断部1A、1B ;—对锯丝送出/卷取装置12A、12B ;分别具有滑轮(pulley) 16的张力调节装置15AU5B ;分别具有滑轮17a、18a、19a的张力检测器17至19 ;以及导引滑轮21至34等。上述工件切断部IA包含沿水平方向排列的一对导轮10a、IOb和旋转驱动这些导轮10a、10b的马达11A、11B，同样，上述工件切断部IB包含沿水平方向排列的一对导轮10a、IOb和旋转驱动这些导轮10a、10b的马达11A、11B。各工件切断部1A、1B的导轮10a、IOb的排列方向(在图中为水平方向)相互平行，且两个工件切断部1A、1B排列在与该排列方向垂直的方向(在图中为上下方向)上。各锯丝送出/卷取装置12A、12B(适宜地称为第I锯丝送出/卷取装置12A、第2锯丝送出/卷取装置12B)分别包括在其周围卷绕切断用锯丝W的卷筒(bobbin) 13A、13B，以及旋转驱动这些卷筒13A、13B的卷筒驱动马达14A、14B。从其中一个锯丝送出/卷取装置12A的卷筒13A送出的锯丝W，以如下顺序设置。(I)以导引滑轮21、22、锯丝张力调节装置15A的滑轮16、张力检测器17的滑轮17a、以及导引滑轮24至26的顺序挂设；(2)以工件切断部IA的导轮10a、10b的顺序一边被嵌入其外周面的导槽(省略图示)，一边多次螺旋状地卷绕(被卷挂)于这些导轮10a、IOb之间；(3)以导引滑轮27、28、张力检测器18的滑轮18a、以及导引滑轮29的顺序挂设；(4)以工件切断部IB的导轮10a、10b的顺序，一边被嵌入于其外周面的导槽(图示省略)，一边多次螺旋状地卷绕(被卷挂)于这些导轮10a、IOb之间；(5)以导引滑轮30、31、张力检测器19的滑轮19a、锯丝张力调整装置15B的滑轮16、导引滑轮33、34的顺序挂设；(6)被另一个锯丝送出/卷取装置卷取。上述锯丝张力调整装置15A、15B向挂在其滑轮的锯丝W赋予指定的张力。在本实施方式中，上述工件切断部1A、1B的通过各驱动马达IlAUlB的导轮IOa的旋转驱动方向、以及通过各卷筒驱动马达14A、14B的卷筒13A、13B的旋转驱动方向，能够分别正反切换。通过该切换，锯丝W的驱动状态，如图I中实线箭头所示，在锯丝W从第I锯丝送出/卷取装置12A的卷筒13A送出，并被第2锯丝送出/卷取装置12B的卷筒13B被卷取的状态(以下称为“第I走丝状态”)与锯丝W从第2锯丝送出/卷取装置12B的卷筒13B送出，并被第I锯丝送出/卷取装置12A的卷筒13A卷取的状态(以下称为第2走丝状态)之间切换。在这些走丝状态中，多根锯丝W(适当称为锯丝群)以彼此平行的状态张设于工件切断部1A、1B的导轮10a、10b之间，该锯丝群沿其轴方向以高速被往复驱动。因此，本实施方式所涉及的上述两个锯丝送出/卷取装置12A、12B兼作为本专利技术所涉及的“锯丝送出装置”和“锯丝卷取装置”，上述两个工件切断部1A、1B兼作为本专利技术所涉及的“第I工件切断部”和“第2工件切断部”。具体而言，在上述第I走丝状态下，上述锯丝送出/卷取装置12A作为本专利技术所涉及的“锯丝送出装置”而发挥功能，上述锯丝送出/卷取装置12B作为本专利技术所涉及的“锯丝卷取装置”而发挥功能，上述工件切断部IA作为本专利技术所涉及的“第I工件切断部”而发挥功能，上述工件切断部IB作为本专利技术所涉及的“第2工件切断部”而发挥功能。反之，在上述第2走丝状态下，上述锯丝送出/卷取装置12B作为本专利技术所涉及的“锯丝送出装置”而发挥功能，上述锯丝送出/卷取装置12A作为本专利技术所涉及的“锯丝卷取装置”而发挥功能，上述工件切断部IB作为本专利技术所涉及的“第I工件切断部”而发挥功能，上述工件切断部IA作为本专利技术所涉及的“第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：星山豊宏，今久留主昌治，吉村浩幸，滨崎辰己，
申请(专利权)人：东洋先进机床有限公司，
类型：发明
国别省市：