【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及飞秒激光维纳加工和激光光学领域，特别涉及一种利用，所制得的光束整形器能够将原始高斯分布的激光光束能量重新分布以达到尽可能均匀。
技术介绍
在激光的实际应用领域中，例如激光对材料的加工，激光驱动惯性约束核聚变等，常要求光强空间分布均匀的激光光束，然而通常情况下从激光器中直接发出的都是能量呈高斯分布的高斯光束，因此需要通过激光光束整形器件，来将高斯光束的强度整形为均匀分布。目前光束整形的方法有很多，例如利用非球面透镜组整形系统、微透镜阵列整形系 统、衍射光学元件整形系统和液晶空间光调制器等都可以实现高斯光束的整形。但比较而言，微透镜阵列加工简单，操作可行性强，实现相对容易。以往的微透镜阵列加工方法，包括光刻胶熔融法、离子交换法、微喷打印法、激光直写技术等；其中光刻胶熔融法难以实现高填充比微透镜阵列的加工；离子交换法通常被用于二维平面微透镜阵列的制备，并且该工艺需要在高温环境中长时间反应；微喷打印法同光刻胶熔融法类似，它所制得的微透镜阵列填充因子也很难超过80% ;激光直写技术可以制备任意形貌的微透镜阵列，但是其加工材料仅限于光刻胶，并且加工效率低，不适...
【技术保护点】
飞秒激光增强化学刻蚀制备微透镜阵列光束整形器的方法，其特征在于，具体实施步骤如下：步骤一、选用石英玻璃作为样品材料；步骤二、选用脉冲宽度为30？150fs、波长为325？1200nm的超短脉冲激光，经一个显微物镜聚焦到固定在三维精密移动平台上的样品表面，显微物镜的数值孔径为03？0.8；步骤三、根据所需微透镜阵列形貌，调整脉冲作用点的排列方式，矩形微透镜阵列则脉冲作用点按照矩形排列，六边形微透镜阵列则脉冲作用点按照三角形排列，三角形微透镜阵列则脉冲作用点按照六边形排列，控制飞秒激光单脉冲能量为10nJ？5mJ，脉冲频率为10Hz？100KHz，调整三维精密移动平台移动速率为...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：杨青，陈烽，卢静，赵玉龙，王先华，刘贺炜，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：
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