光整形装置和激光光源制造方法及图纸

技术编号:7837334 阅读:196 留言:0更新日期:2012-10-12 01:42
本发明专利技术提出一种光整形装置,用于将入射光聚焦于一个特定的聚焦平面上并形成特定形状的光斑;包括聚焦部件,还包括位于聚焦部件和聚焦平面的光路之间的弧面镜阵列,该弧面镜阵列包括多个弧面镜单元,该弧面镜单元用于将从聚焦部件出射的入射于该弧面镜单元的光投射到聚焦平面上形成与该弧面镜单元对应的子光斑。其中子光斑的外形与其对应的弧面镜单元的外形为相似形。本发明专利技术还提出一种激光光源,包括上述的光整形装置,来将激光聚焦于一个特定的聚焦平面上并形成特定形状的光斑。在本发明专利技术的光整形装置和激光光源中,利用弧面镜阵列将从聚焦部件出射的光分别在聚焦平面上形成特定形状的光斑,从而实现了光斑的整形。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光学领域,特别是涉及一种光整形装置和利用该光整形装置来输出特定形状光斑的激光光源
技术介绍
目前,激光被应用于多种场合,例如光刻、投影显示等。在这些应用领域中,往往需要激光光源出射一个均匀的特定形状的光斑。例如在美国专利US7547114中公开了一种投影显示光源,它利用激发光来激发一个荧光粉色轮来交替产生各单色光。在该光源中,激发光照射到荧光粉色轮上的光斑的形状最好是长宽比为4 : 3或16 : 9的长方形,因为这个形状与投影显示后端的光阀的形状相同,这时照射在荧光粉上的激发光的局部能量密度最低,因此可以实现荧光转化效率的最大化。在光刻、激光显影等领域同样有类似的需求。 同时,由于不同的投影机的光机设计不同,而且光阀的尺寸也不同,因此在这些光机中的激发光照射到荧光粉色轮上的光斑的尺寸要求也是不同的。例如,两台投影机分别使用O. 55英寸和O. 45英寸的光阀,则两台投影机内激光光斑的形状都是4 3的长方形,但尺寸不同。因此如果激光光斑的尺寸可以自由的调节同时保持形状不变,则可以适应各种应用的需要。然而,根据激光原理的理论可以知道,一般的激光光源发射出的激光光束的截面本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
2012.01.16 CN 201210012117.2;2012.02.04 CN 20121001.一种光整形装置,用于将入射光聚焦于一个特定的聚焦平面上并形成特定形状的光斑,其特征在于,包括 聚焦部件,该聚焦部件用于将所述入射光会聚于所述聚焦平面上; 至少一个位于所述聚焦部件和所述聚焦平面的光路之间的第一弧面镜阵列,该第一弧面镜阵列包括多个并排排列的第一弧面镜单元,该第一弧面镜单元用于将从聚焦部件出射的入射于该第一弧面镜单元的光投射到所述聚焦平面上形成与该第一弧面镜单元对应的子光斑; 所述子光斑的外形与其对应的第一弧面镜单元的外形为相似形。2.根据权利要求I所述的光整形装置,其特征在于,第一弧面镜阵列上每一个第一弧面镜单元的外形全等。3.根据权利要求I所述的光整形装置,其特征在于,第一弧面镜阵列上每一个第一弧 面镜单元的曲率相同。4.根据权利要求I所述的光整形装置,其特征在于,所述第一弧面镜单元的弧面是球面或非球面。5.根据权利要求4所述的光整形装置,其特征在于,所述第一弧面镜单元的外形是正方形或长方形或正六边形。6.根据权利要求5所述的光整形装置,其特征在于,多个所述第一弧面镜单元周期性紧密排列形成第一弧面镜阵列。7.根据权利要求I至6中任意一项所述的光整形装置,其特征在于,还包括调节装置,用于调节所述第一弧面镜阵列到聚焦平面之间的距离。8.根据权利要求I所述的光整形装置,其特征在于,所述第一弧面镜单元的外形是沿着第一方向延伸的柱面,多个所述第一弧面镜单元沿垂直于第一方向的方向并排排列形成第一弧面镜阵列。9.根据权利要求8所述的光整形装置,其特征在于,还包括位于聚焦部件与第一弧面镜阵列的光路之间的第二弧面镜阵列,该第二弧面镜阵列包括多个并排排列的第二弧面镜单元,所述第二弧面镜单元的外形是沿着垂直于第一方向的方向延伸的柱面,多个所述第二弧面镜单元沿第一方向并排排列形成第二弧面镜阵...

【专利技术属性】
技术研发人员:胡飞
申请(专利权)人:深圳市光峰光电技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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