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飞秒激光增强化学刻蚀制备微透镜阵列光束整形器的方法，选用石英玻璃作为样品材料；通过飞秒激光在其表面加工得到微透镜阵列弹坑；将已加工出的微透镜阵列弹坑放入氟化氢溶液中辅助刻蚀，即可完成微透镜阵列光束整形器的制备；本发明利用飞秒激光增强化学刻蚀...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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