【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种化工设备，具体涉及一种高纯硅烷钢瓶清洗系统。
技术介绍
钢瓶是硅烷气体的一种主要包装容器，一般用钢管热旋压成型，内部做喷丸处理，国家规定钢瓶要定期检验，检验方法主要是做水压试验。在加工或检验过程中，钢瓶内部有可能存在颗粒、油污、生锈等现象，由于钢瓶的特殊结构，目前还不能有效清洁钢瓶内壁，这样充入高纯硅烷气体，会造成硅烷气体的二次污染，影响气体纯度，并存在安全隐患。
技术实现思路
本技术的目的是为了克服钢瓶对硅烷气体的二次污染，提供了一种高纯硅烷钢瓶清洗系统。本技术采用的技术方案是一种高纯硅烷钢瓶清洗系统，包括去离子水储罐、高压泵、热交换器、钢瓶翻转机、钢瓶、高纯氮气进气管、洗涤液进液管和喷嘴，所述钢瓶倒置安装在钢瓶翻转机上，所述去离子水储罐通过管线与高压泵连接，高压泵通过管线与热交换器连接，热交换器通过管线连接至喷嘴，该喷嘴固定在所述钢瓶的钢瓶口处，所述热交换器与喷嘴之间的管线上连接有高纯氮气进气管、洗涤液进液管。使用上述高纯硅烷钢瓶清洗系统进行清洗的方法，包括以下步骤(I)用内窥镜检查钢瓶，确定钢瓶内的污染状况；(2)用钢瓶翻转机将钢瓶倒置，在钢瓶口固定有喷嘴，喷嘴与清洗管线连接；(3)根据钢瓶内壁情况选择相应的洗涤液，用泵加压到5-10Bar (巴)后通过上述喷嘴喷入钢瓶，清洗3-10分钟；(4)将去离子水储罐中的纯水用高压泵加压到30_60Bar，然后送到热交换器，加热到50-80°C后通过上述喷嘴喷入钢瓶再次清洗2-10分钟；(5)然后通入纯度为5. ON (当量浓度)以上的氮气通过上述喷嘴喷入钢瓶吹干钢瓶内壁；(6)用内窥镜检查钢瓶...
【技术保护点】
一种高纯硅烷钢瓶清洗系统，其特征在于：包括去离子水储罐、高压泵、热交换器、钢瓶翻转机、钢瓶、高纯氮气进气管、洗涤液进液管和喷嘴，所述钢瓶倒置安装在钢瓶翻转机上，所述去离子水储罐通过管线与高压泵连接，高压泵通过管线与热交换器连接，热交换器通过管线连接至喷嘴，该喷嘴固定在所述钢瓶的钢瓶口处，所述热交换器与喷嘴之间的管线上连接有高纯氮气进气管、洗涤液进液管。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：徐昕，郑春宁，尤向东，何波，
申请(专利权)人：南京亚格泰新能源材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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