一种感光性树脂组合物，其包括：阳离子可聚合化合物；具有由式1表示的阴离子部分和阳离子部分的光酸产生剂，其中R表示可用氟原子取代并且总碳数为1-30的烃基；X选自由碳原子和磷原子组成的组；Y选自由-S(=O)2-、-O-CF2-、-C(=O)-CF2-、-O-C(=O)-CF2-、-C(=O)-O-CF2-和单键组成的组；当Y为-S(=O)2-或单键时，R具有至少一个氟原子；当X为碳原子时，m和n为选自由m+n=3和n=0、1和2组成的组的整数；当X为磷原子时，m和n为选自由m+n=6和n=0-5组成的组的整数；以及当m等于或大于2时，R和Y可以彼此不同；和阴离子部分和阳离子部分的盐，其中源自所述阴离子部分的酸的酸强度等于或大于六氟磷酸的酸强度，并且等于或小于六氟锑酸的酸强度。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及负型感光性树脂组合物。具体地，本专利技术涉及适于并可用于制造液体排出头的负型感光性树脂组合物，所述液体排出头用于产生用于液体排出记录系统的液滴如小墨滴。本专利技术涉及使用负型感光性树脂组合物的液体排出头。
技术介绍
光刻技术迄今已知为微细加工技术之一。在光刻技术中，将负型感光性树脂曝光并显影从而形成图案和结构。该技术广泛用于制造用途如半导体集成电路、半导体曝光掩膜和各种MEMS (微机电系统)中。作为MEMS的制造用途的实例，该技术应用于制造液体排出头的喷嘴。例如，具有i线作为光源的步进器广泛用作曝光装置。近年来，在该
，需要更复杂和高精细的构造物的制造。因此，需要对来自光源的光显示高感光性和成型精度的负型感光性树脂组合物。作为负型感光性树脂组合物的实例，日本专利申请特开2008-256980公开了包含多官能环氧树脂和光酸产生剂的感光性树脂组合物。源自此处使用的光酸产生剂的阴离子部分结构的酸具有强的酸强度，并且与六氟锑酸相比改进感光性树脂组合物的感光度。作为液体排出头的实例，US2004/0072107A1和US2006/0071971A1公开了液体排出头及其制造方法。液体排出头加热发热电阻器从而使墨发泡，由此排出墨滴。在液体排出头的制造中，高温处理在200°C下在感光性树脂组合物的固化工序中进行。引用列表专利文献PTL I :日本专利申请特开2008-256980PTL 2 US 2004/0072107A1PTL 3 US 2006/0071971A
技术实现思路
如上所述，在液体排出头的制造方法中负型感光性树脂组合物的固化产物可在200°C以上加热处理。当液体排出头使用包含具有六氟锑酸结构作为阴离子部分的光酸产生剂的感光性树脂组合物来制造时，即使加热处理固化产物也未观察到树脂固化产物的劣化。然而，当为了实现较高的感光性和成型精度而使用日本专利申请特开2008-256980中记载的光酸产生剂时，树脂固化产物劣化从而引起耐墨性降低的问题。因而，日本专利申请特开2008-256980中记载的负型感光性树脂组合物用于液体排出头会引起耐热性的问题。因此，本专利技术的目的在于提供具有高感光度、良好成型精度和高耐热性的负型感光性树脂组合物。本专利技术的另一目的在于获得具有使用负型感光性树脂组合物形成的流路形成层的液体排出头。作为本专利技术实例的感光性树脂组合物包括阳离子可聚合化合物；具有由化学式I表示的阴离子部分和阳离子部分的光酸产生剂权利要求1.ー种感光性树脂组合物，其包括 阳离子可聚合化合物；和 具有由式I表示的阴离子部分和阳离子部分的光酸产生剂2.根据权利要求I所述的感光性树脂组合物，其中在所述感光性树脂中所述第二光酸产生剂的摩尔数是所述第一光酸产生剂的摩尔数的3倍以上。3.根据权利要求I所述的感光性树脂组合物，其中所述阳离子可聚合化合物具有环氧基和氧杂环丁烧基团之一。4.根据权利要求I所述的感光性树脂组合物，其中所述阳离子可聚合化合物是线型酚醛环氧树脂。5.根据权利要求I所述的感光性树脂组合物，其中所述阳离子可聚合化合物是具有脂环族骨架的多官能环氧树脂。6.根据权利要求I所述的感光性树脂组合物，其中所述光酸产生剂的阴离子部分具有由下式表示的结构7.根据权利要求I所述的感光性树脂组合物，其中所述光酸产生剂的阴离子部分具有由下式表示的结构8.—种结构体的制造方法，其依次包括以下步骤制备设置有权利要求I所述的感光性树脂组合物的基板，所述感光性树脂组合物构成所述结构体； 使所述感光性树脂组合物曝光从而固化其曝光的部分，由此形成其固化产物，并除去未固化部分；和 加热所述固化产物至160°C以上。9.一种液体排出头,其包括 具有排出液体用排出口的排出口构件， 其中所述排出口构件包括树脂组合物的固化产物， 所述树脂组合物包括 阳离子可聚合化合物； 具有由式I表示的阴离子部分和阳离子部分的光酸产生剂10.根据权利要求9所述的液体排出头，其中在所述感光性树脂中所述第二光酸产生剂的摩尔数是所述第一光酸产生剂的摩尔数的3倍以上。11.根据权利要求9所述的液体排出头，其中所述阳离子可聚合化合物具有环氧基和氧杂环丁烷基团之一。12.根据权利要求9所述的液体排出头，其中所述阳离子可聚合化合物是线型酚醛环氧树脂。13.根据权利要求9所述的液体排出头，其中所述阳离子可聚合化合物是具有脂环族骨架的多官能环氧树脂。14.根据权利要求9所述的液体排出头，其中所述光酸产生剂的阴离子部分具有由下式表示的结构15.根据权利要求9所述的液体排出头，其中所述光酸产生剂的阴离子部分具有由下式表示的结构全文摘要一种感光性树脂组合物，其包括阳离子可聚合化合物；具有由式1表示的阴离子部分和阳离子部分的光酸产生剂，其中R表示可用氟原子取代并且总碳数为1-30的烃基；X选自由碳原子和磷原子组成的组；Y选自由-S(=O)2-、-O-CF2-、-C(=O)-CF2-、-O-C(=O)-CF2-、-C(=O)-O-CF2-和单键组成的组；当Y为-S(=O)2-或单键时，R具有至少一个氟原子；当X为碳原子时，m和n为选自由m+n=3和n=0、1和2组成的组的整数；当X为磷原子时，m和n为选自由m+n=6和n=0-5组成的组的整数；以及当m等于或大于2时，R和Y可以彼此不同；和阴离子部分和阳离子部分的盐，其中源自所述阴离子部分的酸的酸强度等于或大于六氟磷酸的酸强度，并且等于或小于六氟锑酸的酸强度。文档编号C08G65/18GK102754029SQ201180008169公开日2012年10月24日 申请日期2011年1月31日 优先权日2010年2月5日专利技术者下村雅子, 池龟健, 高桥表 申请人:佳能株式会社本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：池龟健，下村雅子，高桥表，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：
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