常压等离子体清洗液晶显示玻璃屏表面设备制造技术

本实用新型专利技术常压等离子体清洗液晶显示玻璃屏表面设备，包括壳体、电源、供气、水冷、玻璃传动系统和壳体排气口，该设备有一个在常压下能产生射频均匀冷等离子体的长方体放电通道主体，主体是由两个平行的、带有进气通孔和水冷通道的上下平板电极构成，上平板电极与射频电源连接，下平板电极与壳体和地连接，在两个平板电极的两侧设有绝缘材料密封，传动轴带动液晶显示玻璃屏由放电通道的一端进入，由另一端传出。在通道中玻璃表面得到等离子体的清洗。放电采用频率为１３．５６ＭＨｚ的射频电源，工作气体是氩气和氧气。其能在大气压下产生稳定放电的射频氩氧冷等离子体通道，对穿过放电通道的各种玻璃或各种薄膜的表面进行表面清洗和表面改性。（*该技术在2015年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种常压等离子体清洗液晶显示玻璃屏表面设备，包括一个壳体系统、电源系统、供气系统、水冷系统、传动系统、放电通道主体和壳体排气口，其特征在于：在设备的上部设有一个长方体的放电通道主体，该放电通道主体由上下平行的金属平板电极和两侧密封的绝缘材料构成；上平板电极通过电缆与射频电源连接，称为射频电极；下平板电极连接壳体并接地，称为地电极；在上、下电极内部分别开有水冷通道，该水冷通道与外循环水连接；在上电极的下表面一侧还开有多个与放电通道贯通的进气孔，该多个进气孔与上电极内部的一个大通气孔连接，该大通气孔通过进气导管与供气源连接；在地电极的两侧壳体上设有传动系统，液晶玻璃屏通过传动系统带动由放电通道的一端进入，经过通道内等离子体清洗后，从另一端传出，放电是在常压下进行。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王守国，赵玲利，
申请(专利权)人：中国科学院光电研究院，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]