【技术实现步骤摘要】
本专利技术是关于半导体测试的高频测试信号，特别是指一种传输高频耦合信号的测试装置及改变信号耦合的调整方法。
技术介绍
探针卡的主要目的是接收电测机台(tester)输出的测试信号，使测试信号通过探针卡的电路板与探针进行电路空间转换的作用而传输至集成电路芯片上仅细微间距的测试焊垫，并由芯片电路将测试信号接收处理后在特定测试焊垫输出测试结果，再透过探针与探针卡的电路板回传至电测机台，以供测试人员监控芯片电性，达到自动化的晶圆级测试目的。对于以高速运算的数字芯片电路而言，探针卡测试时，电路板的电路布设则需兼 具高频传输所需特性阻抗的电路结构，并达到维持高频信号传输路径上的阻抗匹配；同理，用于接触芯片以送出并回传测试信号的探针结构也需维持有特性阻抗匹配的高频信号传输条件，以满足高频电测的可靠度。而由于高频传输的特性阻抗对传输结构的环境具有极高的敏感度，因此探针卡结构制成后，各模块结构之间往往有阻抗不匹配的缺点，导致信号传递至模块结构的接合处产生信号反射耗损，因而大多难以实际符合芯片电路的高频传输规格。因此，近来高频电测多改良为非直接接触式的感应电测结构，利用测试探针与待...
【技术保护点】
一种高频耦合信号调整方法，该方法包括有以下步骤：制备一高频金属针及一耦合传输线，以该高频金属针或该耦合传输线中的一个制成一高频线路，另一个制成一耦合线路；使该高频线路电性连接一信号产生源，使该耦合线路电性连接一信号接收端；以及在该信号接收端接收上述的高频耦合信号，调整该耦合线路与该高频线路的耦合电容及互感以调整高频耦合信号的传输频率。
【技术特征摘要】
1.一种高频耦合信号调整方法，该方法包括有以下步骤 制备一高频金属针及一耦合传输线，以该高频金属针或该耦合传输线中的一个制成一高频线路，另一个制成一耦合线路； 使该高频线路电性连接一信号产生源，使该耦合线路电性连接一信号接收端；以及 在该信号接收端接收上述的高频耦合信号，调整该耦合线路与该高频线路的耦合电容及互感以调整高频耦合信号的传输频率。2.根据权利要求I所述的高频耦合信号调整方法，还制备一耦合金属针，与该耦合传输线电性连接且与该高频金属针并列设置，改变该耦合金属针与该高频金属针的相邻距离以调整该高频耦合信号的传输频率。3.根据权利要求2所述的高频耦合信号调整方法，还制备一电路基板，用于布设该耦合传输线，该耦合传输线在该电路基板的一上表面电性连接该信号接收端，并在该电路基板的一下表面电性连接该耦合金属针，使该耦合传输线及该耦合金属针制成该耦合线路。4.根据权利要求2所述的高频耦合信号调整方法，还制备一电路基板，用于布设该耦合传输线，该耦合传输线在该电路基板的一上表面电性连接该信号产生源，并在该电路基板的一下表面电性连接该耦合金属针，使该耦合传输线及该耦合金属针制成该高频线路。5.根据权利要求1、2、3或4中任一项所述的高频耦合信号调整方法，还制备多个耦合金属针使相互电性短路，且分别与该高频金属针并列设置，其中一该耦合金属针与该耦合传输线电性连接，改变该多个耦合金属针的数量以调整该高频耦合信号的传输频率。6.根据权利要求5所述的高频耦合信号调整方法，还制备一探针座，是穿设有多个相邻固定间距的通孔用于供该高频金属针及耦合金属针穿设，该多个耦合金属针穿设在邻近该高频金属针所环绕的通孔。7.根据权利要求I所述的高频耦合信号调整方法，还制备一高频传输线，与该高频金属针电性连接且该与耦合传输线并列设置，改变该高频传输线的长度或与该耦合传输线的相邻距离以调整该高频耦合信号的传输频率。8.根据权利要求7所述的高频耦合信号调整方法，还制备一电路基板，布设有该高频传输线及耦合传输线，该耦合传输线在该电路基板的一上表面电性连接该信号接收端，该高频传输线在该电路基板的一下表面电性连接该高频金属针，使该高频传输线及高频金属针制成该高频线路。9.根据权利要求7所述的高频耦合信号调整方法，还制备一电路基板，布设有该高频传输线及耦合传输线，该耦合传输线在该电路基板的一上表面电性连接该信号产生源，该高频传输线在该电路基板的一下表面电性连接该高频金属针，使该高频传输线及高频金属针制成该耦合线路。10.根据权利要求7所述的高频耦合信号调整方法，还制备一电路基板及一空间转换器，将该空间转换器叠置在该电路基板的一下表面，该耦合传输线布设在该电路基板及空间转换器，并在该电路基板的一上表面电性连接该信号接收端，该高频传输线布设在该空间转换器，并在该空间转换器的一下表面电性连接该高频金属针，使该高频传输线及高频金属针制成该高频线路。11.根据权利要求7所述的高频耦合信号调整方法，还制备一电路基板及一空间转换器，将该空间转换器叠置在该电路基板的一下表面，该耦合传输线布设在该电路基板及空间转换器，并在该电路基板的一上表面电性连接该信号产生源，该高频传输线布设在该空间转换器，并在该空间转换器的一下表面电性连接该高频金属针，使该高频传输线及该高频金...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄耿毅，谢昭平，顾伟正，何志浩，
申请(专利权)人：旺矽科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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