【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及ー种利用光纤光谱仪的光学薄膜厚度检测装置及方法,用于实时在线地进行光学薄膜厚度的大范围无损测量。
技术介绍
光学薄膜技术作为ー种成熟的技木,或用来提升器件的性能,或用来实现某种特殊的功能,在光学、材料、通信、半导体等领域有着广泛的应用,从日常生活中的眼镜、镜头镀膜、照明到科学研究中的窄带滤光片,半透半反膜等等,光学薄膜无处不在。随着半导体技术、集成光电子技术、激光技术、薄膜传感技术等新技术的不断发展,光学薄膜技术也在不断地发展进步。光学薄膜中,薄膜的厚度对薄膜的光学性能、力学性能和电磁性能等有着决定性的影响,所以如何精确、快速、简便地检测光学薄膜厚度已经成为光学薄膜技术中ー项具有重要意义的课题。虽然现有的光学薄膜厚度測量方法有很多,但是非光学的方法会对样品造成损伤,许多光学的方法操作方法复杂,測量受到诸多条件限制,随着光学薄膜的材料和制备技术的不断提高,传统的薄膜厚度的測量方法已经不能满足现代光学检测的需要。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服现有技术的不足,提供ー种光学薄膜厚度检测装置及方法。基于光纤光谱仪薄膜厚度检测装置包括包括光纤光谱仪探头、光学显微镜、Y型光纤、白光光源、光纤光谱仪主机、Y向步进扫描台、X向步进扫描台、样品台、待测样品、步进扫描台驱动线、步进扫描台控制主机、计算机、光学平台、第一固定块、第二固定块、第一支撑柱、第二支撑柱、支撑横梁、Z向移动轨道、L型固定块、光纤光谱仪探头横梁;光纤光谱仪主机通过Y型光纤连接光纤光谱仪探头和白光光源,光纤光谱仪主机通过USB接ロ与计算机通信;步进扫描台控制主机通过USB接ロ与计算机通信, ...
【技术保护点】
一种基于光纤光谱仪薄膜厚度检测装置,其特征在于包括包括光纤光谱仪探头(1)、光学显微镜(2)、Y型光纤(3)、白光光源(4)、光纤光谱仪主机(5)、Y向步进扫描台(6)、X向步进扫描台(7)、样品台(8)、待测样品(9)、步进扫描台驱动线(10)、步进扫描台控制主机(11)、计算机(12)、光学平台(13)、第一固定块(14)、第二固定块(15)、第一支撑柱(16)、第二支撑柱(17)、支撑横梁(18)、Z向移动轨道(19)、L型固定块(20)、光纤光谱仪探头横梁(21);光纤光谱仪主机(5)通过Y型光纤(3)连接光纤光谱仪探头(1)和白光光源(4),光纤光谱仪主机(5)通过USB接口与计算机(12)通信;步进扫描台控制主机(11)通过USB接口与计算机(12)通信,步进扫描台控制主机(11)用步进扫描台驱动线(10)控制Y向步进扫描台(6)和X向步进扫描台(7),光学平台(13)一侧从下到上依次设有第一固定块(14)、第一支撑柱(16),光学平台(13)另一侧从下到上依次设有第二固定块(15)、第二支撑柱(17),第一支撑柱(16)和第二支撑柱(17)上端固定有支撑横梁(18),支撑 ...
【技术特征摘要】
1.一种基于光纤光谱仪薄膜厚度检测装置,其特征在于包括包括光纤光谱仪探头(I)、光学显微镜(2)、Y型光纤(3)、白光光源(4)、光纤光谱仪主机(5)、Y向步进扫描台(6)、X向步进扫描台(7)、样品台(8)、待测样品(9)、步进扫描台驱动线(10)、步进扫描台控制主机(11)、计算机(12)、光学平台(13)、第一固定块(14)、第二固定块(15)、第一支撑柱(16)、第二支撑柱(17)、支撑横梁(18)、Z向移动轨道(19)、L型固定块(20)、光纤光谱仪探头横梁(21); 光纤光谱仪主机(5)通过Y型光纤(3)连接光纤光谱仪探头(I)和白光光源(4),光纤光谱仪主机(5)通过USB接口与计算机(12)通信;步进扫描台控制主机(11)通过USB接口与计算机(12)通信,步进扫描台控制主机(11)用步进扫描台驱动线(10)控制Y向步进扫描台(6)和X向步进扫描台(7),光学平台(13)—侧从下到上依次设有第一固定块(14)、第一支撑柱(16),光学平台(13)另一侧从下到上依次设有第二固定块(15)、第二支撑柱(17),第一支撑柱(16)和第二支撑柱(17)上端固定有支撑横梁(18),支撑横梁18下表面设有Z 向移动轨道(19),Z向移动轨道(19)上设有L型固定块(20),L型固定块(20)上设有光纤光谱仪探头横梁(21),...
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