【技术实现步骤摘要】
本技术属于镀膜
，尤其是指一种用于高温真空单晶烧结炉。
技术介绍
高温烧结炉主要用于单晶体和镀膜材料的烧结，现有技术无法解决在高温作用下氟化物腐蚀钨铼热偶、料易挥发，温度低又造成料不溶化、浪费极大的问题；以往使用的石墨加热器直径大，径向温度梯度较大，不利于晶体以及镀膜材料的制作，在石墨加工过程中，需把柱形原料车制成筒形，材料利用率极低，造价高；通常采用钥片制作保温罩，在高温下钥片容易变脆寿命短，造成浪费，每次温度都有损失，重复性不好，基本一次一扔。
技术实现思路
本技术提供一种高温真空单晶烧结炉，以解决石墨材料浪费及钨铼热偶、钥片制作保温罩使用寿命短、成品率低的问题。本技术采取的技术方案是碳毡保温筒与外壳内部套接，筒形石墨加热器与支架固定连接，筒形石墨加热器与石墨坩埚外部套接。本技术的优点在于结构具有新颖性，体积小，费用低，效率高，更换简单，维修方便，径向温度梯度小，适于大尺过石锅加热，热场均匀，材料的均匀性以及重复性好成品率高，使用寿命长，保温效果好，温场复性好，有利于镀膜材料及晶体生长制作，在前端就达到了温度控制。附图说明图I是本技术的结构示意图。具体实施...
【技术保护点】
一种高温真空单晶烧结炉，其特征在于：碳毡保温筒与外壳内部套接，筒形石墨加热器与支架固定连接，筒形石墨加热器与石墨坩埚外部套接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：静宇，静枫，
申请(专利权)人：吉林省赛尔光电技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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