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本实用新型涉及一种高温真空单晶烧结炉,属于镀膜技术领域。碳毡保温筒与外壳内部套接,筒形石墨加热器与支架固定连接,筒形石墨加热器与石墨坩埚外部套接。实用新型的优点在于:结构具有新颖性,体积小,费用低,效率高,更换简单,维修方便,径向温度梯度小...该专利属于吉林省赛尔光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过吉林省赛尔光电技术有限公司授权不得商用。
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