【技术实现步骤摘要】
本技术属于一种控温装置，尤其是指一种应用在高温真空单晶烧结炉中的控温装置。技术背景高温真空单晶烧结炉在工作过程中需要随时监测温度，常规的测温方法是将钨铼热偶直接置于高温环境中获取烧结温度，现有技术无法解决在高温作用下氟化物对钨铼热偶的严重腐蚀，需要经常更换而造成极大浪费的问题。
技术实现思路
本技术提供一种高温真空单晶烧结炉控温装置，以解决在高温作用下氟化物对钨铼热偶的严重腐蚀，需要经常更换而造成极大浪费的问题。本技术采取的技术方案是加热器与交直流转换装置电连接，交直流转换装置与变压器电连接，变压器与电流检测模块电连接，电流检测模块与控制电路、电源电连接，控制电路与温度控制器电连接，电流检测模块与报警装置电连接，温度控制器与加热器连接。本技术的优点在于具有新颖性，用控温装置代替了钨铼热偶，控温装置与烧结炉的内加热装置结合为一体，通过温控仪表、控制电路、电流检测模块、交直流转换装置在前端就控制了温度，使工作温度准确稳定，降低了费用，提高了效率，更换简单，维修方便。附图说明图I是本技术的电路原理图。具体实施方式加热器8与交直流转换装置7电连接，交直流转换装置7与变压...
【技术保护点】
一种高温真空单晶烧结炉控温装置，其特征在于：加热器与交直流转换装置电连接，交直流转换装置与变压器电连接，变压器与电流检测模块电连接，电流检测模块与控制电路、电源电连接，控制电路与温度控制器电连接，电流检测模块与报警装置电连接，温度控制器与加热器连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：静宇，静枫，
申请(专利权)人：吉林省赛尔光电技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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