一种大范围平面度的测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种大范围平面度的测量装置，从而方便、快速地对大范围平面度进行有效测量。该大范围平面度的测量装置包括高精度自准直仪、斜方棱镜组以及可转动连接装置。测量时，斜方棱镜的测量头部瞄准待测平面，通过高精度自准直仪测量待测平面的平面度，其中高精度自准直仪所发出的平行光路，经过两个斜方棱镜，在每个斜方棱镜的两次反射作用后，其出射光矢量和原入射光矢量相同，即每个斜方棱镜经过两次反射所折转的光路不影响出射光矢量，待测平面反射后的光路又经过斜方棱镜至高精度自准直仪，便可以实现对被测平面的平面度测量。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种大范围平面度的测量装置。
技术介绍
平面度测量主要用于对平板型待测元件如平行光管标定反射平面、高精度平面镜和棱镜等标定仪器及精密器件的表面平面度的检测与校准。水平仪是一种常用的平面度测量仪器，其体积小，携带方便，测量操作相对简单，因此水平仪测量法是一种比较常用的平面度测量方法，但水平仪只能目视读数，精度较低，且和被测面是接触测量，这对高精度要 求的平面具有一定的破坏性而不适合使用。后来采用的非接触式测量，如激光测量仪，提高了测量精度，但设备昂贵，操作复杂，对操作人员要求较高，测量大尺寸平面耗时较长，只适用于小、中平面的平面度测量。
技术实现思路
本技术针对现有技术中存在的技术问题，提供一种大范围平面度的测量装置，从而方便、快速地对大范围平面度进行有效测量。为解决现有技术存在的问题，本技术提供的技术方案如下一种大范围平面度的测量装置，包括通过转动联接装置依次联接的自准直仪、第一斜方棱镜、第二斜方棱镜；在第一斜方棱镜、第二斜方棱镜中，两个平行的端面均作为透射面、两个平行的斜面均作为内反射面，透射面与内反射面夹角均为45° ;高精度自准直仪的出射光轴与四个端面垂直，自准直仪发出的准本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大范围平面度的测量装置，包括通过转动联接装置依次联接的自准直仪、第一斜方棱镜、第二斜方棱镜；在第一斜方棱镜、第二斜方棱镜中，两个平行的端面均作为透射面、两个平行的斜面均作为内反射面，透射面与内反射面夹角均为45°；自准直仪的出射光轴与四个端面垂直，准直仪发出的准直光束垂直透射第一斜方棱镜的外侧端面，依次经第一斜方棱镜的两个斜面、第二斜方棱镜的两个斜面进行四次反射，出射至与第二斜方棱镜的外侧端面平行相对的待测平面；自准直仪与第一斜方棱镜之间的转动联接装置的中心轴与自准直仪的出射光轴同轴，第一斜方棱镜能够绕自准直仪的出射光轴在360°范围内转动；第一斜方棱镜与第二斜方棱镜之间的转动联接装置的中...

【技术特征摘要】
1.一种大范围平面度的测量装置，包括通过转动联接装置依次联接的自准直仪、第一斜方棱镜、第二斜方棱镜；在第一斜方棱镜、第二斜方棱镜中，两个平行的端面均作为透射面、两个平行的斜面均作为内反射面，透射面与内反射面夹角均为45° ; 自准直仪的出射光轴与四个端面垂直，准直仪发出的准直光束垂直透射第一斜方棱镜的外侧端面，依次经第一斜方棱镜的两个斜面、第二斜方棱...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖茂森，吴易明，李春艳，刘爱敏，陆卫国，
申请(专利权)人：中国科学院西安光学精密机械研究所，
类型：实用新型
国别省市：