线栅型偏振片及其制造方法技术

技术编号:7868113 阅读:182 留言:0更新日期:2012-10-15 02:26
本发明专利技术提供偏光度及p偏振光透过率较高、背面s偏振光反射率较低的线栅型偏振片及其制造方法。该线栅型偏振片(10)包括透光性基板(14)和第1金属层(20),在该透光性基板(14)上形成有多个从底部朝向顶部宽度逐渐变窄的凸条(12),该凸条(12)隔着形成在该凸条(12)之间的平坦部(13)相互平行且隔开规定的间距地形成在该透光性基板(14)的表面上,该第1金属层(20)由覆盖凸条(12)的侧面的金属构成,从凸条(12)的二分之一高度的位置至底部的覆盖厚度的最大值小于从凸条(12)的二分之一高度的位置至顶部(19)的覆盖厚度的最大值;该线栅型偏振片的制造方法如下:从与第1侧面(16)一侧形成满足的角度的方向蒸镀金属,接着从形成满足的角度的方向蒸镀金属,从而形成第1金属层(20)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及。
技术介绍
作为用于液晶显示装置、背投电视、前投影仪等图像显示装置的、在可见光范围显不出偏振光分尚能力的偏振片(也称作偏振光分尚兀件),具有线栅型偏振片。线栅型偏振片具有使多条金属细线相互平行地排列在透光性基板上的结构。在金属细线的间距充分短于入射光的波长的情况下,该线栅型偏振片使入射光中的、具有与金 属细线正交的电场矢量的成分(即P偏振光)透过,将具有与金属细线平行的电场矢量的成分(即S偏振光)反射。作为在可见光范围中显示偏振光分离能力的线栅型偏振片,公知以下偏振片。( I)在透光性基板上隔着规定的间距地形成有金属细线的线栅型偏振片(參照专利文献I)。(2)隔着规定的间距地在透光性基板的表面上形成多个凸条,并在凸条的上表面及侧面覆盖由金属或者金属化合物构成的材料膜而形成金属细线的线栅型偏振片(參照专利文献2)。(3)隔着规定的间距地在透光性基板的表面上形成多个凸条,并在凸条上形成金属的板状体而作为金属细线的线栅型偏振片(參照专利文献4)。(4)隔着规定的间距地在透光性基板的表面上形的多个凸条,并在凸条上形成金属层而作为金属细线的线栅型偏振片(參照专利文献3)。然而,对于(I)的线栅型偏振片,由于需要利用光刻法形成金属细线,因此(I)的线栅型偏振片的生产率较低。在(2)、(3)、(4)的线栅型偏振片中,在与形成有金属细线的表面侧(以下记作表面侦D处于相反侧的表面侧(以下记作背面侧)中也发生s偏振光的反射。若将线栅型偏振片用于液晶显示装置,则在该线栅型偏振片的背面侧配置有液晶面板,因此,当被线栅型偏振片的背面侧反射的s偏振光入射到液晶面板时,使液晶面板所显示的图像的对比度下降。专利文献I :日本特开2005 — 070456号公报专利文献2 :日本特开2006 — 003447号公报专利文献3 :日本特开2005 - 181990号公报专利文献4 :国际公开第2006/064693号単行本
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供偏光度及P偏振光透过率较高、背面s偏振光反射率较低的。本专利技术具有下述要点。(I) 一种线栅型偏振片,其具有透光性基板和金属层,在该透光性基板上形成有多个从底部朝向顶部宽度逐渐变窄的凸条,该多个凸条隔着形成在该凸条之间的平坦部相互平行且隔开规定的间距地形成在该透光性基板的表面上,该金属层覆盖上述凸条的沿长度方向的至少一侧的侧面且由金属或者金属化合物构成,该金属层的从凸条的二分之一高度的位置至底部的覆盖厚度的最大值小于从凸条的二分之一高度的位置至顶部的覆盖厚度的最大值。(2)根据(I)所述的线栅型偏振片,其具有覆盖凸条的两个侧面且由金属或者金属化合物构成的金属层,该金属层在凸条的两个侧面中从凸条的二分之一高度的位置至底部的覆盖厚度的最大值小于从凸条的二分之一高度的位置至顶部的覆盖厚度的最大值。(3)根据(I)或(2)所述的线栅型偏振片,上述凸条的与长度方向正交的截面形状为三角形或者梯形。(4)根据(I)或(2)所述的线栅型偏振片,在从凸条的二分之一高度的位置至底部的金属层的覆盖厚度的最大值为Dal、从凸条的二分之一高度的位置至顶部的金属层的覆盖厚度的最大值为Drl时,Drl>Dal, Drl为20nm 80nm, Dal为4nm 25nm。(5)根据(4)所述的线栅型偏振片,Drl/Dal为2. 5 10。 (6)根据(2)所述的线栅型偏振片,使覆盖在凸条的沿长度方向的两个侧面上的金属层的、从凸条的二分之一高度的位置至底部的金属层的覆盖厚度的最大值分别为Dal、 Da2,从凸条的二分之一高度的位置至顶部的金属层的覆盖厚度的最大值分别为Drl、Dr2 时,Drl>Dal 且 Dr2>Da2, Drl 为 IOnm 45nm, Dr2 为 IOnm 45nm, Dal 为 4nm 25nm, Da2 为 4nm 25nm。(7)根据(6)所述的线栅型偏振片,Drl/Dal为I. 5 6,Dr2/Da2为I. 5 6。(8) —种线栅型偏振片的制造方法,该制造方法用于制造具有透光性基板和金属层的线栅型偏振片,在该透光性基板上形成有多个从底部朝向顶部宽度逐渐变窄的凸条, 该多个凸条隔着形成在该凸条之间的平坦部相互平行且隔开规定的间距地形成在该透光性基板的表面上,该金属层覆盖上述凸条的沿长度方向的至少一侧的侧面且由金属或者金属化合物构成,该线栅型偏振片的制造方法具有从与上述凸条的长度方向大致正交且在第I侧面侧与上述凸条的高度方向形成满足下述式(a)的角度θβ ( ° )的方向蒸镀金属或者金属化合物的工序(IRl);在上述工序(IRl)之后,从与上述凸条的长度方向大致正交且在第I侧面侧与上述凸条的高度方向形成满足下述式(b)的角度( °)的方向,在蒸镀量多于工序(IRl)的蒸镀量的条件下蒸镀金属或者金属化合物的工序(1R2)。tan ( θκι±10 ) = ( Pp - Dpb/2 ) /Hp ( a >θΗι + 3<θΗ^<θΗι + 30( b )在式(a)中,Pp表示凸条间的间距,Dpb表示凸条的底部的宽度,Hp表示凸条的高度。(9)根据(8)所述的线栅型偏振片的制造方法,该线栅型偏振片具有覆盖凸条的两个侧面且由金属或者金属化合物构成的金属层,该线栅型偏振片的制造方法包括从与上述凸条的长度方向大致正交且在第I侧面侧与上述凸条的高度方向形成满足下述式(C)的角度ΘΚ1 ( °)的方向蒸镀金属或者金属化合物的工序(2R1);从与上述凸条的长度方向大致正交且在第2侧面侧与上述凸条的高度方向形成满足下述式(d)的角度0Li( ° )的方向蒸镀金属或者金属化合物的工序(2L1);在上述工序(2R1)之后,从与上述凸条的长度方向大致正交且在第I侧面侧与上述凸条的高度方向形成满足下述式(e)的角度eR2( ° )的方向,在蒸镀量多于エ序(2R1)的蒸镀量的条件下蒸镀金属或者金属化合物的エ序(2R2);在上述エ序(2L1)之后,从与上述凸条的长度方向大致正交且在第2侧面侧与上述凸条的高度方向形成满足下述式(f)的角度0L2 ( ° )的方向,在蒸镀量多于エ序(2L1)的蒸镀量的条件下蒸镀金属或者金属化合物的エ序(2L2 )。tan ( θκι±10 ) = ( Pp - Dpb/2 ) /Hp ( c )tan ( Θ! ±10 ) = ( Pp - Dpb/2 ) /Hp ( d )Θ 丨しI + 3<0^2<01{ ] + 20( Θ )0L1 + 1<θ! + 20( f )在式(c)及式(d)中,Pp表示凸条之间的间距,Dpb表示凸条的底部的宽度,Hp表示凸条的高度。 (10)根据(8)所述的线栅型偏振片的制造方法,在蒸镀量为4nm 25nm的条件进行上述エ序(IRl),在蒸镀量为25nm 70nm的条件下进行上述エ序(1R2)。(11)根据(9)所述的线栅型偏振片的制造方法,在蒸镀量为4nm 25nm的条件下进行上述エ序(2R1)及上述エ序(2L1),在蒸镀量为IOnm 25nm的条件下进行上述エ序(2R2)及上述エ序(2L2)。 (12)根据(8)或(9)所述的线栅型偏振片的制造方法,上述凸条由光固化树脂或本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2009.10.08 JP 2009-2344311.一种线栅型偏振片,其中, 该线栅型偏振片具有透光性基板和金属层, 在该透光性基板上形成有多个从底部朝向顶部宽度逐渐变窄的凸条,该多个凸条隔着形成在该凸条之间的平坦部相互平行且隔开规定的间距形成在该透光性基板的表面上, 该金属层覆盖上述凸条的沿长度方向的至少一侧的侧面且由金属或者金属化合物构成,该金属层从凸条的二分之一高度的位置至底部的覆盖厚度的最大值小于从凸条的二分之一高度的位置至顶部的覆盖厚度的最大值。2.根据权利要求I所述的线栅型偏振片,其中, 该线栅型偏振片具有覆盖凸条的沿长度方向的两个侧面且由金属或者金属化合物构成的金属层,在两个侧面中,该金属层的从凸条的二分之一高度的位置至底部的覆盖厚度的最大值小于从凸条的二分之一高度的位置至顶部的覆盖厚度的最大值。3.根据权利要求I或2所述的线栅型偏振片,其中, 上述凸条的与长度方向正交的截面形状为三角形或者梯形。4.根据权利要求I或2所述的线栅型偏振片,其中, 在从凸条的二分之一高度的位置至底部的金属层的覆盖厚度的最大值为Dal、从凸条的二分之一高度的位置至顶部的金属层的覆盖厚度的最大值为Drl时,DrDDal, Drl为20nm 80nm, Dal 为 4nm 25nm。5.根据权利要求4所述的线栅型偏振片,其中,DrI/DaI 为 2. 5 10。6.根据权利要求2所述的线栅型偏振片,其中, 在使覆盖于凸条的沿长度方向的两个侧面上的金属层的从凸条的二分之一高度的位置至底部的金属层的覆盖厚度的最大值分别为Dal、Da2,从凸条的二分之一高度的位置至顶部的金属层的覆盖厚度的最大值分别为Drl、Dr2时,DrDDal且Dr2>Da2,Drl为IOnm 45nm, Dr2 为 IOnm 45nm, Dal 为 4nm 25nm, Da2 为 4nm 25nm。7.根据权利要求6所述的线栅型偏振片,其中,DrI/DaI 为 I. 5 6,Dr2/Da2 为 I. 5 6。8.一种线栅型偏振片的制造方法,该制造方法用于制造具有透光性基板和金属层的线栅型偏振片,在该透光性基板上形成有多个从底部朝向顶部宽度逐渐变窄的凸条,该多个凸条隔着形成在该凸条之间的平坦部相互平行且隔开规定的间距地形成在该透光性基板的表面上,该金属层覆盖上述凸条的沿长度方向的至少一侧的侧面且由金属或者金属化合物构成,其中, 该线栅型偏振片的制造方法包括从与上述凸条的长度方向大致正交且在第I侧面侧与上述凸条的高度方向形成满足下述式(a)的角U屮I ( ° )的方向蒸镀金属或者金属化合物的工序(IRl); 在上述工序(IRl)之后,从与上述凸条...

【专利技术属性】
技术研发人员:秋田阳介坂本宽池田康宏樱井宏巳海田由里子志堂寺荣治
申请(专利权)人:旭硝子株式会社
类型:发明
国别省市:

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