本发明专利技术提供一种能够使磨削液均匀分散且能够实现稳定的旋转的超级磨粒砂轮。超级磨粒砂轮(1)具备以旋转轴为中心旋转的基体件(10)和与基体件(10)固接的超级磨粒层(20)。基体件(10)具有第一面(201)和位于该第一面(201)的相反侧的第二面(202)。在由超级磨粒层(20)包围的第二面(202)的部分上设有朝向远离第一面(201)的方向突出的环状的第一突条部(121)。在比第一突条部(121)靠内侧的第二面(202)设有基准面(110)。从基准面(110)到第一突条部(121)的高度由A表示，在第一突条部(121)与超级磨粒层(20)之间的第二面(202)的部分上设有距基准面(110)的高度为B的顶部(114)。高度B大于高度A。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及超级磨粒砂轮、使用了该超级磨粒砂轮的晶片的制造方法以及晶片，更确切来说，涉及具有超级磨粒层的磨削轮。
技术介绍
以往，磨削轮例如在日本实开平7-31268号公报(专利文献I)及日本特开2003-19671号公报(专利文献2)中有公开。在先技术文献专利文献 专利文献I :日本实开平7-31268号公报专利文献2 :日本特开2003-19671号公报在专利文献I中，公开了ー种能够向エ件与扇形磨石的接触部充分供给磨削液的磨削磨石。具体而言，对半导体晶片等的表面进行磨削的磨削磨石包括扇形磨石和保持该扇形磨石的保持构件，在保持构件上形成有多个供给磨削液的磨削液供给孔，并且形成有 用于抑制从供给孔流出的磨削液的势头的控制部。在专利文献2中，公开了ー种对磨削轮施加改良，能够将供给的磨削液充分有效地利用在磨削轮及エ件(半导体晶片)的冷却中的结构。在磨削轮中，在基台的内周形成有向半径方向内侧敞开的磨削液积存处，通过磨削液积存处暂时阻止供给到磨削轮基台的磨削液的向半径方向外方的流动，之后，使该磨削液朝向超级磨粒层及エ件漏出。在专利文献I的磨削磨石中，虽然从供给孔供给磨削液，但该磨削液仅供给到局部，存在未必遍及到扇形磨石与エ件的全部接触界面这样的问题。在专利文献2中，为了解决上述课题，公开了在基台的内周形成向半径方向内方敞开的积液处的技木，但当积液处积存有过多的磨削液时，若以高速旋转，则存在旋转不稳定的问题。
技术实现思路
本专利技术为了解决上述问题点而作出，其目的在于提供一种能够使磨削液均匀地分散，且能够实现稳定的旋转的超级磨粒砂轮。本专利技术的一方面的超级磨粒砂轮具备以旋转轴为中心旋转的基体件；与基体件固接的超级磨粒层，其中，基体件具有第一面和位于该第一面的相反侧的第二面，在由超级磨粒层包围的第二面的部分上设有向远离第一面的方向突出的环状的突条部，在比突条部靠内侧的第二面的部分设有基准面，从基准面到突条部的高度由A表示，在突条部与超级磨粒层之间的第二面的部分设有距基准面的高度为B的顶部，高度B大于高度A。在如此构成的超级磨粒砂轮中，从内周侧供给的磨削液与环状的突条部相碰而朝向超级磨粒层扩散。其结果是，能够向超级磨粒层与エ件之间均匀地供给磨削液。而且，由于在第二面未设置积液处，因此能够防止在积液处积攒磨削液的情況，能够实现稳定的旋转。优选的是，突条部的内周侧壁面与旋转轴大致平行。优选的是，多个突条部设置在超级磨粒层的内周侧，在相邻的突条部中，内周侧的突条部的距基准面的高度低于外周侧的突条部的距基准面的高度。优选的是，位于最内周侧的突条部的距基准面的高度为3mm以上。这是因为，若高度小于3_，则从内周侧供给的磨削液的一部分不与环状的突条部相碰，而是越过。由于高度即使超过50mm其功能也不会改变，因此高度最优选为3mm以上且50mm以下。优选的是，高度B与高度A之差为1_以上。若差小于1_，则可能无法将磨削液均匀地向超级磨粒层供给。由于即使差超过50_其功能也不会改变，因此差最优选为1_以上且50mm以下。优选的是，突条部为圆环状。优选的是，突条部具有使磨削液微细粒子化而使磨削液均匀地扩散的功能。在本专利技术的晶片的制造方法中，使上述任一超级磨粒砂轮的超级磨粒层与晶片接触，从突条部的内周侧供给磨削液并同时研磨晶片。本专利技术的晶片通过上述方法来制造。本专利技术的另一方面的超级磨粒砂轮具备以旋转轴为中心旋转的基体件；与基体件固接的超级磨粒层，其中，基体件具有第一面和位于该第一面的相反侧的第二面，还具备突条构件，该突条构件具有设置在由超级磨粒层包围的第二面的部分上且向远离第一面的方向突出的环状的突条部，在比突条部靠内侧的第二面的部分设有基准面，从基准面到突条部的高度由A表示，在突条部与超级磨粒层之间的第二面的部分设有距基准面的高度为B的顶部，高度B大于高度A。在如此构成的超级磨粒砂轮中，从内周侧供给的磨削液与设置在突状构件上的环状的突条部相碰而朝向超级磨粒层扩散。其结果是，能够向超级磨粒层与エ件之间均匀地供给磨削液。而且，由于在第二面未设置积液处，因此能够防止在积液处积攒磨削液的情况，能够实现稳定的旋转。而且，由于突条构件与基体件为分体，因此通过在未设置突条部的以往的基体件上设置突条构件，能够防止液体的积攒，从而能够实现稳定的旋转。优选的是，突条部的内周侧壁面与旋转轴大致平行。优选的是，多个突条部设置在超级磨粒层的内周侧，在相邻的突条部中，内周侧的突条部的距基准面的高度低于外周侧的突条部的距基准面的高度。优选的是，位于最内周侧的突条部的距基准面的高度为3mm以上。优选的是，高度B与高度A之差为Imm以上。优选的是，突条部为圆环状。优选的是，突条部具有使磨削液微细粒子化而使磨削液均匀地扩散的功能。专利技术效果根据本专利技术，能够提供一种可向超级磨粒层与エ件之间均匀地供给磨削液的超级磨粒砂轮。而且，由于在第二面未设置积液处，因此能够防止在积液处积攒磨削液，从而能 够实现稳定的旋转。而且具有稳定且长期地維持良好的锋利度的效果，因此エ件的烧伤发生少，能得到良好的加工面品质。附图说明图I是本专利技术的实施方式I的超级磨粒砂轮的主视图。图2是本专利技术的实施方式I的超级磨粒砂轮的俯视图。图3是本专利技术的实施方式I的超级磨粒砂轮的仰视图。图4是沿着图3中的IV-IV线的剖视图。图5是沿着图3中的V-V线的剖视图。图6是将图4中的由VI-VI线包围的部分放大表示的剖视图。 图7是将图5中的由VII-VII线包围的部分放大表示的剖视图。图8是本专利技术的实施方式I的超级磨粒砂轮的一面的立体图。图9是本专利技术的实施方式I的超级磨粒砂轮的另一面的立体图。图10是本专利技术的实施方式2的超级磨粒砂轮的仰视图。图11是本专利技术的实施方式3的超级磨粒砂轮的仰视图。图12是沿着图11中的XII-XII线的剖视图。图13是沿着图11中的XIII-XIII线的剖视图。图14是将图12中的由XIV-XIV线包围的部分放大表示的剖视图。图15是将图13中的由XV-XV线包围的部分放大表示的剖视图。图16是本专利技术的实施方式3的超级磨粒砂轮的一面的立体图。图17是本专利技术的实施方式3的超级磨粒砂轮的另一面的立体图。图18是本专利技术的实施方式4的超级磨粒砂轮的仰视图。图19是本专利技术的实施方式5的超级磨粒砂轮的仰视图。图20是沿着图19中的XX-XX线的超级磨粒砂轮的剖视图。图21是沿着图19中的XXI-XXI线的剖视图。图22是将图20中的由XXII-XXII线包围的部分放大表示的超级磨粒砂轮的剖视图。图23是将图21中的由XXIII-XXIII线包围的部分放大表示的剖视图。图24是本专利技术的实施方式5的超级磨粒砂轮的一面的立体图。图25是本专利技术的实施方式5的超级磨粒砂轮的另一面的立体图。图26是本专利技术的实施方式6的超级磨粒砂轮的仰视图。图27是沿着图26中的XXVII-XXVII线的剖视图。图28是沿着图26中的XXVIII-XXVIII线的剖视图。图29是将图27中的由XXIX-XXIX线包围的部分放大表示的剖视图。图30是将图28中的由XXX-XXX线包围的部分放大表示的剖视图。图31是本专利技术的实施方式6的超级磨粒砂轮的一面的立体图。图32是本专利技术的实施方式6的超级磨粒砂轮的另一面的立体图。图33是本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.01.13 JP 2010-0049981.一种超级磨粒砂轮，具备 以旋转轴为中心旋转的基体件(10)； 与所述基体件固接的超级磨粒层(20)， 其中， 所述基体件具有第一面(201)和位于该第一面的相反侧的第二面(202)， 在由所述超级磨粒层包围的所述第二面的部分上设有向远离所述第一面的方向突出的环状的突条部(121)， 在比所述突条部靠内侧的所述第二面的部分设有基准面(110)， 从所述基准面到所述突条部的高度由A表示， 在所述突条部与所述超级磨粒层之间的所述第二面的部分设有距所述基准面的高度为B的顶部(114)，高度B大于高度A。2.根据权利要求I所述的超级磨粒砂轮，其中， 所述突条部的内周侧壁面与所述旋转轴大致平行。3.根据权利要求I所述的超级磨粒砂轮，其中， 多个所述突条部设置在所述超级磨粒层的内周侧，在相邻的所述突条部中，内周侧的突条部的距所述基准面的高度低于外周侧的突条部的距所述基准面的高度。4.根据权利要求I所述的超级磨粒砂轮，其中， 位于最内周侧的所述突条部的距所述基准面的高度为3mm以上。5.根据权利要求I所述的超级磨粒砂轮，其中， 所述高度B与所述高度A之差为Imm以上。6.根据权利要求I所述的超级磨粒砂轮，其中， 所述突条部为圆环状。7.根据权利要求I所述的超级磨粒砂轮，其中， 所述突条部具有使磨削液微细粒子化而使磨削液均匀地扩散的功能。8.—种制造晶片的方法，其中， 使权利要求I所述的超级磨粒砂轮的所述超级磨粒层...
【专利技术属性】
技术研发人员：石津智广，冈西幸绪，熊泽照之，
申请(专利权)人：联合材料公司，
类型：发明
国别省市：
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