【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及含有具有三嗪骨架的多官能环氧化合物作为交联剂的正型抗蚀剂组合物。该组合物特别适合于用作平坦化膜和微透镜材料。
技术介绍
电荷耦合元件(CXD)等摄像元件用微透镜能够主要通过微细的图案形成来制作高精细的摄像元件，该微细图案使用光致抗蚀剂来制作。具体而言，通过将包含高分子树脂和感光剂的抗蚀剂组合物涂布在基板上制膜后，用光刻法进行图案形成，显影，从而形成一个图案，制作出微透镜。因此，要求用作微透镜材料的抗蚀剂组合物为高灵敏度，图案形成能力优异。此外，由于所形成的透镜图案在钎焊エ序中暴露于高温条件下，因此还要求上述抗蚀剂组合物具有形成的透镜图案所需的曲率半径，耐热性、透明性高。 作为上述要求的特性中重要的特性之一，可举出灵敏度。灵敏度的提高关系到エ业生产中生产时间的缩短，在近来的摄像元件的需要大幅度提高的现在，成为非常重要的特性之一。此外，在灵敏度不充分的情况下，不能将所需的图案析像，不能形成良好的透镜形状。也能够通过提高材料中的聚合物在碱性显影液中的溶解性来提高灵敏度，但由于变更聚合物的组成对于折射率、吸湿性等其它特性的影响大，因此有限制。此外，作为与灵敏度一起在微透镜材料中要求的重要特性，可举出透明性和耐热性。通常，具有微透镜的照像机等的模块被安装在置有电子电路的基板上。该安装中，以往使用了含有铅的焊料，但由于铅对人体和环境是有害的，因此近年来，提倡使用不含铅的无铅焊料。使用除了铅以外的金属的无铅焊料与含有铅的焊料相比熔点高。因此，在安装エ序中，使用无铅焊料的情况与使用含有铅的焊料的情况相比需要高温度下的加热处理。此时，对于耐热性不充分的材料而...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.01.26 JP 014505/20101.ー种正型抗蚀剂组合物，其包含下述(A)成分、(B)成分、(C)成分和(D)成分 (A)成分碱溶性聚合物； (B)成分具有进行光分解而产生碱溶性基团的有机基团的化合物； (C)成分式(I)所示的交联性化合物，2.根据权利要求I所述的正型抗蚀剂组合物，(A)成分的碱溶性聚合物为在重复单元中包含羟基、羧基、或它们的组合的聚合物。3.根据权利要求I或2所述的正型抗蚀剂组合物，(A)成分的碱溶性聚合物为具有羟基、羧基、或它们的组合的単体与具有疏水性基团的单体的共聚物。4.根据权利要求I 3的任一项所述的正型抗蚀剂组合物，(B)成分为具有式(4)所示结构的化合物，5....
【专利技术属性】
技术研发人员：汤川升志郎，荒濑慎哉，武山敏明，远藤勇树，毛吕健夫，
申请(专利权)人：日产化学工业株式会社，
类型：发明
国别省市：
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