【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种光聚合引发剂溶解性优异的光致抗蚀剂制造用溶剂或溶剂组合物、以及包含该光致抗蚀剂制造用溶剂或溶剂组合物的光致抗蚀剂制造用组合物。
技术介绍
为了实现液晶显示器等显示装置的彩色化,通常需要在两张基板之间设置由红(R)、绿(G)、蓝(B)、黄(Y)等像素区域构成的滤色器。但是,滤色器的各像素区域之间被无间隙地填埋时,则在其边界会引起对比度降低等。为了防止该问题,通常,形成利用黒色的隔片将各顔色的像素区域分割开的黑色矩阵。为了形成黑色矩阵及滤色器,通常可使用光致抗蚀剂。对于黒色矩阵而言,有使用 金属的遮光材料的黒色矩阵、及使用非金属的遮光材料的黒色矩阵。近年来,出于环境方面的考虑,作为非金属的黒色矩阵,树脂黒色矩阵正在増加。树脂黑色矩阵浆料由遮光材料、粘合剂树脂、多官能単体、光聚合引发剂、溶剂等构成。黑色矩阵经过以下⑴ (6)的エ序来制造。(I)配制黒色矩阵浆料。(2)将上述黒色矩阵浆料涂布在基板上后进行薄层化。(3)在100°C左右的温度下蒸发溶剂并进行干燥。(4)照射100mJ/cm2左右强度的UV来进行光固化。(5)喷雾碳酸钠水溶液,清洗不需要的树脂成分。(6)在200°C左右的温度下加热以进行热固化。在黒色矩阵的光固化中,由于配合有浆料组合物中所含的遮光剂,因此,到达深处的光变弱。因此,需要在浆料组合物中大量含有灵敏度高的光聚合引发剂。作为灵敏度高的光聚合引发剂,可以举出具有咔唑骨架的肟酯类光聚合引发剂(专利文献I)。但这些光聚合弓I发剂的溶解性差,难以大量溶解在溶剂中。因此,在专利文献2中公开了如下内容从对光聚合引发剂的溶解性方面考虑 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
2011.03.08 JP 2011-050789;2011.03.08 JP 2011-050781.一种光致抗蚀剂制造用溶剂或溶剂组合物,其用于溶解肟酯类光聚合引发剂,该光致抗蚀剂制造用溶剂或溶剂组合物包含溶剂A,所述溶剂A具有选自下述式(A)所示的化合物中的至少ー种化合物,2.根据权利要求I所述的光致抗蚀剂制造用溶剂或溶剂组合物,其中,还包含至少ー种与所述溶剂A相溶的溶剂B。3.根据权利要求2所述的光致抗蚀剂制造用溶剂或溶剂组合物,其中,包含30重量%以上的所述溶剂A。4.根据权利要求3所述的光致抗蚀剂制造用溶剂或溶剂组合物,其中,包含50重量%以上的所述溶剂A。5.根据权利要求I 4中任一项所述的光致抗蚀剂制造用溶剂或溶剂组合物,其中,肟酯类光聚合引发剂为下述式(PD所示的化合物(P1),6.根据权利要求5所述的光致抗蚀剂制造用溶剂或溶剂组合物,其中,肟酯类光聚合引发剂为下述式⑴所示的化合物⑴7.根据权利要求5所述的光致抗蚀剂制造用溶剂或溶剂组合物,其中,肟酯类光聚合弓I发剂为下述式⑵所示的化合物⑵,且溶剂A为I,3-ニ甲基-3,4,5,6-四氢-2 (IH)-...
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