清洗方法以及实施该方法的清洗液供给装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种清洗方法以及实施该方法的清洗液供给装置。该方法可防止在被清洗物上形成清洗液的覆盖膜，并且还可防止清洗液和异物在被清洗物上的逆流。该清洗方法向被清洗物连续地喷出清洗液，其中在１４～１７ｍ／ｓｅｃ的流速下，连续对被清洗物喷出高压的清洗液，并且按照２０～５０ｃ／ｓｅｃ的周期，使该连续喷出的清洗液的流速上升到１００～１２０ｍ／ｓｅｃ，以对清洗液进行增强减弱的处理。于是，按照本发明专利技术，由于通过对清洗液进行增强减弱的处理，喷飞喷向被清洗物的清洗液，故不在被清洗物上形成清洗液的覆盖膜，另外，因对被清洗物连续喷出清洗液与被清洗物冲击的清洗液与在平时去除的异物等一起，可从被清洗物上流动，可防止向被清洗物上的逆流。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种清洗方法，该清洗方法向被清洗物连续地喷出高压的清洗液，其特征在于对上述连续喷出的清洗液的稳定连续流进行增强减弱的处理。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：小林芳树，安川雅彦，
申请(专利权)人：株式会社杰维思，
类型：发明
国别省市：JP[日本]