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本发明提供一种清洗方法以及实施该方法的清洗液供给装置。该方法可防止在被清洗物上形成清洗液的覆盖膜，并且还可防止清洗液和异物在被清洗物上的逆流。该清洗方法向被清洗物连续地喷出清洗液，其中在１４～１７ｍ／ｓｅｃ的流速下，连续对被清洗物喷出高压的...
该专利属于株式会社杰维思所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社杰维思授权不得商用。

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