一种电沉积装置制造方法及图纸

技术编号:7859345 阅读:253 留言:0更新日期:2012-10-14 00:26
本实用新型专利技术公开了一种电沉积装置,包括阴极、阳极与盐溶液槽,还包括传感器、工控电脑、计量泵与浓液罐,所述传感器一端与盐溶液槽固定连接,另一端与工控电脑电连接;所述计量泵一端与工控电脑电连接,另一端分别通过管道与浓盐罐、盐溶液槽连通,传感器包括pH值传感器、离子传感器,离子传感器、浓盐罐为多个,两者数量对应相等。本实用新型专利技术可以准确适时控制盐溶液的pH值、离子浓度、又可将阀值用到近于极限。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种电沉积装置,属于电共相沉积法生产微晶金属

技术介绍
现有的一种用于电共相沉积的装置,包括阴极、阳极与盐溶液槽,阴极与阳极置于盐溶液槽的两端,在生产过程中,盐溶液的PH值和关键离子的浓度要进行准确控制,不可使其逾越阀值,否则会造成盐体系瓦解不可用。而目前的方法是依靠经验公式,定时添加各种药剂,因为是定性判断,往往很难准确判断;或是定时抽验生产过程中的盐溶液,检测后定量添加药剂,往往用时长、效率低,不利于盐溶液体系问题的快速解决与维护;另外一个问题是不敢将阀值用到极限,一般只用到50%,影响生产速度。
技术实现思路
为解决现有技术的问题,本技术的目的在于提供一种准确适时控制,又可将阀值用到近于极限的电沉积装置。所采用的技术方案为一种电沉积装置,包括阴极、阳极与盐溶液槽,还包括传感器、工控电脑、计量泵与浓液罐,所述传感器一端与盐溶液槽固定连接,另一端与工控电脑电连接;所述计量泵一端与工控电脑电连接,另一端分别通过管道与浓盐罐、盐溶液槽连通。所述传感器包括pH值传感器、离子传感器。所述离子传感器、浓盐罐为多个,两者数量对应相等。采用上述的方案后,由于pH传感器与各种离子传感器可以对盐溶液槽里盐溶液的PH值、离子浓度进行监控,即pH值、离子浓度变化至标准范围之外时,传感器将测量到的PH值和离子浓度反馈到工控电脑,工控电脑计算后控制各计量泵,适时从各浓盐罐中抽取各药剂,注入反应槽内,从而使盐溶液体系可以得到及时的解决与维护,且即便阀值用到极限,也仍可得到调节与控制。附图说明图I为本技术的结构图。具体实施方式以下结合附图,对本技术做进一步的阐述。如图I所示,一种电沉积装置,包括阴极(图未示)、阳极(图未示)、盐溶液槽I、传感器2、工控电脑3、计量泵4与浓液罐5,阴极与阳极置于盐溶液槽I内,传感器2、工控电脑3、计量泵4与浓液罐5置于盐溶液槽I外,且大体上相连形成一个回路。即,传感器2一端与盐溶液槽I固定连接,另一端与工控电脑3电连接;计量泵4 一端与工控电脑3电连接,另一端有两个管道71、72,第一管道71通向浓盐罐5,第二管道72通向盐溶液槽I。为使盐溶液的pH值、关键离子的浓度得到控制与调整,在传感器上设置有pH值传感器21、各种关键离子的离子传感器22、23、24,且离子传感器的数量与浓盐罐的数量相坐寸o由于pH传感器与各种离子传感器可以对盐溶液槽里盐溶液6的pH值、离子浓度进行监控,即PH值、离子浓度变化至标准范围之外时,传感器将测量到的pH值和离子浓度反馈到工控电脑,工控电脑计算后控制各计量泵,计量泵第一管道从各浓盐罐中抽取各药齐U,从第二管道注入反应槽内,从而使盐溶液体系可以得到及时的解决与维护,且即便阀值用到极限,也仍可得到调节与控制。·本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电沉积装置,包括阴极、阳极与盐溶液槽,其特征在于还包括传感器、工控电脑、计量泵与浓液罐,所述传感器一端与盐溶液槽固定连接,另一端与工控电脑电连接;所述计量泵一端与工控电脑电连接,另一端分别通过管道与...

【专利技术属性】
技术研发人员:黄林崎
申请(专利权)人:福建通途金属结构有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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