【技术实现步骤摘要】
本技术属于电沉积领域，尤其涉及一种电沉积系统。
技术介绍
厚度均匀性是衡量沉积层质量的一项重要指标。沉积层厚度不均是长期以来备受关注的问题。分析表明，阴极表面电流密度和流场分布不均是导致沉积层厚度不均的决定性因素。电沉积过程中，由于阴极表面电流密度及流场分布的不均匀性，沉积面大都呈现边缘高、中间低的“马鞍”状。专利号200810200426.6的“微电铸装置”采用一种电场再分配挡板来解决阴极表面电流密度分布不均问题，获得不错的效果。专利号201210024051.9的“一种微细电铸机床”则采用阴极振动的方法，较好地解决了阴极表面流场分布不均问题。然而，上述方法往往只重视其中一个方面，尚不能从根本上解决沉积层厚度不均问题。所以，有必要开发一种电沉积系统，以能协同解决阴极表面电流密度和流场分布不均问题，进而获得厚度分布均一的沉积层。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种既能实现均匀流场分布又能获得均一电流密度分布的电沉积系统，以期最大限度地解决沉积层厚度不均问题。为达到上述目的，本技术采用的技术方案是:一种电沉积系统，包括电沉积槽、阴极和阳极；所述的电沉积槽还包括阴极屏蔽板和阴极振动机构；所述的阴极振动机构包括水平置于电沉积槽上方的阴极固定杆；所述的阴极固定安装于阴极固定杆上；所述的阴极屏蔽板平行放置于阴极、阳极之间。所述的阴极固定杆能做水平直线往复振动，振幅为30mm?60mm。所述的阴极屏蔽板的材质为聚丙烯等非导电耐腐蚀的非金属材料。所述的阴极屏蔽板的截面形状与阴极相似，其面积为阴极面积的1.5倍，且中心开有形状与阴极截面形状相似的孔洞，孔洞面...
【技术保护点】
一种电沉积系统，包括电沉积槽、阴极和阳极，其特征在于：所述的电沉积槽还包括阴极屏蔽板和阴极振动机构；所述的阴极振动机构包括水平置于电沉积槽上方的阴极固定杆；所述的阴极固定安装于阴极固定杆上；所述的阴极屏蔽板平行放置于阴极、阳极之间。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：明平美，张晓东，毕向阳，周维海，陈竞涛，
申请(专利权)人：河南理工大学，
类型：新型
国别省市：河南;41
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