在柔性薄膜光伏电池制造中喷淋电极同时沉积薄膜的装置制造方法及图纸

在柔性薄膜光伏电池制造中喷淋电极同时沉积薄膜的装置，涉及到PECVD制备过程中喷淋电极同时沉积薄膜的装置。包括内部装有喷淋电极和基体电极的真空设备，所述的电极与外部的射频电源相互连接；在所述的电极上均附有电池基材；所述的喷淋电极内部有气体通道，喷淋电极与所附有的电池基材上均有小孔。两组小孔一一对应并依矩阵或同心圆阵排列。气体通过所述的两组小孔垂直喷向基体电极上的电池基材，同时喷淋电极上的电池基材也获得喷淋的气体，实现薄膜沉积。这样，电极上的电池基材的表面均获得薄膜沉积，均可以制备薄膜光伏电池。设备产能可以成倍的增加；电极清洗作业量可以极大地减少。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及到柔性薄膜光伏电池制造装置，特别涉及到PECVD制备过程中喷淋电极同时沉积薄膜的装置。
技术介绍
在本技术提出之前，在柔性薄膜光伏电池的制造过程中，PECVD (等离子体增强化学气相沉积)制备作业是十分重要的工艺过程。系统在电极之间加上电压时，由阴极发射出来的电子在电场被加速而获得能量，通过与反应室中的气体或分子碰撞，使其分离，激发或电离，形成了很多电子，离子和活性基团。粒子所带的正的和负总电荷相等，是一种等离子体。组成等离子体的这些粒子，经过一系列的物理一化学反应过程，就沉积在基材上而形成薄膜。PECVD作业是在真空设备中进行的，该设备中有相互对应的电极，电极与设备外 的射频电源连接在一起。利用射频电源对电极进行加热，达到规定温度时，获得能量的电子就开始PECVD作业，直到基材上的薄膜达到一定的要求时，PECVD作业才停止进行。由于要产生等离子体，需要向设备内输入诸如SiH4、PH3、H2等的气体，这样在真空设备上设置了气体的进、出口端子。诸气体所形成的混合体在进入真空设备之后进入具有小孔的电极(称之为喷淋电极)，随后喷向另一个复盖着基材的电极，在基材上沉积而形成薄膜。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.在柔性薄膜光伏电池制造中喷淋电极同时沉积薄膜的装置，包括内部装有相互对应的喷淋电极(2)和基体电极(3)的真空设备(1)，所述的电极与外部的射频电源(4)相互连接；其特征在于在所述的基体电极(3)上和所述的喷淋电极(2)上均附有电池基材(5)，所述的喷淋电极(2)内部有气体通道(6)，喷淋电极(2)与所附有的电池...

【专利技术属性】
技术研发人员：奚建平，
申请(专利权)人：苏州思博露光伏能源科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：