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在柔性薄膜光伏电池制造中喷淋电极同时沉积薄膜的装置，涉及到PECVD制备过程中喷淋电极同时沉积薄膜的装置。包括内部装有喷淋电极和基体电极的真空设备，所述的电极与外部的射频电源相互连接；在所述的电极上均附有电池基材；所述的喷淋电极内部有气体通...
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