【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种真空镀膜装置，特别涉及一种用于多个真空室串联连续镀膜的在真空室内传送镀件的传动滚轴。
技术介绍
常见的真空镀膜，一般是在一个镀膜腔体内进行镀膜操作，如果将多个镀膜腔体连接起来，被镀工件从一个镀膜腔体，传到下一个镀膜腔体进行连续镀膜，则需要将多个被镀件连续送到各个镀膜腔体进行镀膜，这就需要一种传送装置，并且要保持镀膜腔体的真空度。
技术实现思路
为解决前述存在的问题，本技术提供一种连续真空镀膜装置的传动滚轴，该传动滚轴是在二根平行的支架之间，通过滚珠轴承，均匀连接有多根被动滚轴，另外还连接有一根主动滚轴，主动滚轴通过齿轮或链条与被动滚轴连接，主动滚轴通过伞齿轮与一纵向的真空贯穿器连接，真空贯穿器与一电动机连接，真空贯穿器与真空镀膜腔体连接。技术的优点是，结构简单，负载大，成本低，传送被镀件方便，速度可调，容易控制。附图说明附图I是本技术的结构图。具体实施方式请参阅附图I所示，该传动滚轴是在二根平行的支架I之间，通过滚珠轴承，均匀连接有多根被动滚轴2，另外还连接有一根主动滚轴3，主动滚轴3通过齿轮或链条与被动滚轴2连接，主动滚轴3通过伞齿轮4与一纵向的真空贯穿器5连接，真空贯穿器5与一电动机6连接，真空贯穿器5与真空镀膜腔体连接。所述真空贯穿器5是其转轴采用油封结构，转轴的油封结构是公知技术。
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜装置的传动滚轴，其特征在于，在二根平行的支架之间，通过滚珠轴承，均匀连接有多根被动滚轴，另外还连接有一根主动滚轴，主动...
【专利技术属性】
技术研发人员：史旭，
申请(专利权)人：纳峰真空镀膜上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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