运用激光激化气体的清洗方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术一种运用激光激化气体的清洗方法及装置，该清洗装置先进行提供一待清洗基板步骤，将表面分布有表面污染物的基板夹持固定于该夹持治具，再进行喷雾气体于基板表面步骤，利用气体产生装置产生固态气体分子雪花，并喷发于该基板表面，当该基板表面的雪花挥发升华为气体时，再进行激光照射待清洗基板表面步骤，利用该激光产生装置所产生的激光束，照射于基板表面及其表面的雪花，该基板表面受到激光照射后加速雪花升华及膨胀爆炸，进而驱使该附着于待清洗基板上的表面污染物脱离该待清洗基板，最后，为完成基板表面清洗步骤，该基板表面得到洗净。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种激光激化气体的清洗方法，用以进行清洗基板，其中包含：提供一待清洗基板，该待清洗基板表面分布有表面污染物；进行喷雾气体于待清洗基板表面，将固态气体分子雪花喷发于待清洗基板表面；以及进行激光照射待清洗基板表面，将激光 束照射于该待清洗基板表面及表面的固态气体分子雪花，加速该待清洗基板表面的固态气体分子雪花升华及膨胀爆炸，驱使该表面污染物脱离该待清洗基板。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨胜仲，黄俊诚，陈进和，
申请(专利权)人：财团法人金属工业研究发展中心，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]