基板固定盘清洗单元、清洗装置及清洗方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于清除为进行在基板上涂敷光刻胶等多种基板处理作业而固定基板的基板固定盘上表面的杂质的基板固定盘清洗单元、清洗装置及清洗方法。依据本发明专利技术所提供的基板固定盘清洗单元，包含：主体；形成在所述主体并向所述基板固定盘喷射清洗剂的喷射孔，以用于分离所述基板固定盘上的杂质；离所述喷射孔间隔预定距离的吸入孔，以用于吸入由所述清洗剂分离的杂质。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种基板固定盘清洗单元，其特征在于包含：主体；形成在所述主体并向所述基板固定盘喷射清洗剂的喷射孔，以用于分离所述基板固定盘上的杂质；从所述喷射孔分开预定距离的吸入孔，以用于吸入由所述清洗剂分离的杂质。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：权晟，
申请(专利权)人：KC科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]