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本发明涉及一种用于清除为进行在基板上涂敷光刻胶等多种基板处理作业而固定基板的基板固定盘上表面的杂质的基板固定盘清洗单元、清洗装置及清洗方法。依据本发明所提供的基板固定盘清洗单元，包含：主体；形成在所述主体并向所述基板固定盘喷射清洗剂的喷射孔...
该专利属于K.C.科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过K.C.科技股份有限公司授权不得商用。

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