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本发明一种运用激光激化气体的清洗方法及装置，该清洗装置先进行提供一待清洗基板步骤，将表面分布有表面污染物的基板夹持固定于该夹持治具，再进行喷雾气体于基板表面步骤，利用气体产生装置产生固态气体分子雪花，并喷发于该基板表面，当该基板表面的雪花挥...
该专利属于财团法人金属工业研究发展中心所有，仅供学习研究参考，未经过财团法人金属工业研究发展中心授权不得商用。

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