基于石墨烯的表面等离子体极化波分束器制造技术

一种基于石墨烯的表面等离子体极化波分束器，包括：硅衬底，在硅衬底的上表面设有环形槽，且环形槽的内侧面为圆柱面、外侧面为多棱柱面，在硅衬底的上表面上覆盖有二氧化硅衬底，在二氧化硅衬底的下表面设有与硅衬底的环形槽相适配的环形突起，在二氧化硅衬底的上表面设有石墨烯层。偏置电压源的一极加在硅衬底上，另一极加在石墨烯上。通过设计不同区域硅衬底的厚度和合适的偏置电压，本实用新型专利技术可以在多个频点实现把表面等离子体极化球面波分成若干束特定方向的表面等离子体极化平面波。本实用新型专利技术结构简单，重量轻，易于集成，在成像和通信领域有着广泛的应用前景。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种使用石墨烯实现的表面等离子体极化波分束器，尤其涉及一种基于石墨烯可以做为ENZ材料的特性来设计的表面等离子体极化波分束器。此器件可以把一个球面表面等离子体极化波分成许多束平面表面等离子体极化波。
技术介绍
近些年，介电常数的实部趋于零的材料(ENZ材料)引起了人们极大的关注，ENZ材料可以将一个给定的入射波的等相位面，通过设计ENZ材料出射面的外形，将出射波等相位面的形状变换成所需要的任意形状，而无需考虑入射波的波前。该技术在成像和通信领域有着广泛的应用前景。在红外和光波段，一些低损耗的贵金属，如金和银，半导体和一些极性电解质，在它们的等离子体频率附近可以用作ENZ材料。但是，由于它们的色散性质，这些ENZ材料只能工作于它们的离子体频率附近。自2004年发现石墨烯以来，引起了人们强烈的研究兴趣。G.W. Hanson教授提出，石墨烯的电导率可以由Kubo公式表示为(“Dyadic Green’sfunctions and guided surface waves for a surface conductivitymodel of graphene, ” J. App本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.种基于石墨烯的表面等离子体极化波分束器，包括硅衬底(1)，在硅衬底(I)的上表面设有环形槽(6)，且环形槽(6)的内侧面为圆柱面、外侧面为多棱柱面，在硅衬底(I)...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆卫兵，许红菊，朱薇，董正高，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：实用新型
国别省市：