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基于石墨烯的表面等离子体极化波分束器制造技术
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下载基于石墨烯的表面等离子体极化波分束器的技术资料
文档序号:7856619
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一种基于石墨烯的表面等离子体极化波分束器,包括:硅衬底,在硅衬底的上表面设有环形槽,且环形槽的内侧面为圆柱面、外侧面为多棱柱面,在硅衬底的上表面上覆盖有二氧化硅衬底,在二氧化硅衬底的下表面设有与硅衬底的环形槽相适配的环形突起,在二氧化硅衬底...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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