用于清扫管路的清扫装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种可以用来清扫管路的清扫装置，该清扫装置包括清扫装置本体和通过连接轴设置在所述本体的毛刷，其中，所述装置本体包括与连接轴的一端相连接的第一部分及与连接轴的另一端相连接的第二部分，所述第一部分和第二部分均为截面渐变宽的结构，所述第一部分和第二部分截面最宽的端部分别与所述连接轴连接。本实用新型专利技术所述的清扫装置可方便地清除管路内壁的积尘。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及清洁装置，尤其涉及对半导体制程中的真空管路进行清洁的装置。
技术介绍
经过一段时间的运行，高真空中央集尘系统的管路内壁就会附着大量粉尘。虽然高真空中央集尘系统末端的一些管路可以分段拆卸进行清理，然后再安装，但是由于管路很长，所以分段拆卸进行清理并不是一个好办法，且高真空中央集尘系统的主管无法拆卸也就无法通过拆卸的方式进行清洁
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供一种可以用来清扫管路的清扫装置，以有效解决上述问题。该清扫装置包括清扫装置本体和通过连接轴设置在所述本体的毛刷，其中，所述装置本体包括与连接轴的一端相连接的第一部分及与连接轴的另一端相连接的第二部分，所述第一部分和第二部分均为截面渐变宽的结构，所述第一部分和第二部分截面最宽的端部分别与所述连接轴连接。优选地，所述第一部分截面最窄的端部和第二部分截面最窄的端部在清扫装置运行在所述管路内时分别接触该管路的内部。优选地，所述第一部分的截面最宽的端部设置为凹向第一部分截面最窄的端部的弧形，所述第二部分的截面最宽的端部设置为凹向第二部分截面最窄的端部的弧形。优选地，所述第一部分的截面最宽的端部设置为月牙形结构。优选地，所述第二部分的截面最宽的端部设置为月牙形结构。优选地，所述第一部分和所述第二部分关于所述连接轴对称设置。优选地，所述第一部分和第二部分分别为锥状。优选地，所述毛刷包括多个固定在所述连接轴的毛刷单体，各毛刷单体在清扫装置运行在所述管路内时均接触该管路的内部。 优选地，所述毛刷在所述清扫装置运行在所述管路内时呈人字形结构。优选地，所述各毛刷单体为螺旋状结构。优选地，所述第一部分和第二部分为轻质材料形成的结构。且优选所述第一部分和第二部分为PVC材料。本技术所述的清扫装置可借助压力或风力自行在管路内行进，从而对管路内壁进行清扫。附图说明图I是本技术所述的清扫装置的一个示例的结构示意图。图2是是本技术所述的清扫装置的一个应用环境的示例的示意图。具体实施方式以下结合附图进一步说明本技术。本领域技术人员可以理解到，以下只是结合具体的实施方式来对本技术的主旨进行说明，并不就此限定本技术的实施。本技术所主张的范围由所附的权利要求确定，任何不脱离本技术精神的修改、变更都应由本技术的权利要求所涵盖。图I是根据本技术的一个实施例的清扫管路的清扫装置的结构示意图。如图所示，清扫装置包括清扫装置本体I和通过连接轴2设置在本体I的毛刷3。毛刷3中毛刷的长度以能接触到管壁或略大于毛刷根部到管壁的距离为好，以便其运行在管路中时，可接触到管路内壁，以达成清除积尘的目的。清扫装置本体I还包括与连接轴2的两端分别连接的第一部分10和第二部分12。第一部分10和第二部分12分别为截面渐变宽结构，优选为锥形结构；在此术语“截面”指的是沿着垂直于纸面的方向将所述第一部分或第二部分剖开时的面。作为示例，当该清扫装置运行在管路中时，第一部分10的截面最小的端部100和第二部分12的截面最小的端部120可分别接触到管路的内壁，从而可将附着在管内壁的粒状积尘击破，优选地，接触该管路内壁的端部100和120为尖头。第一部分10的截面最宽的端部102与连接轴2连接，第二部分12横截面最宽的端部122与连接轴2连接。第一部分10及第二部分12可与连接轴2固定连接，也可以旋转方式连接，亦即连接轴相对于第一部分10和第二部分12可旋转。根据本技术的一个示例，第一部分10的截面最宽的端部102为凹向第一部分10的截面最窄的端部100的弧形，第二部分12的横截面最宽的端部122为凹向第二部分12的截面最窄的端部120的弧形。优选地，该端部100和端部120为月牙形结构。根据本技术的一个示例，第一部分10和第二部分12系围绕连接轴对称设置。作为示例，毛刷3包括多个固定在连接轴2的毛刷单体，各毛刷单体在清扫装置运行在管路内时均可接触该管路的内部。毛刷在所述清扫装置运行在所述管路内时呈如图所示的人字形结构。本技术所述的清扫装置，第一部分和第二部分的可选用PVC材料，从而使得清扫装置的总体重量相对较轻。PVC材料仅为示例，也可选用更轻的材料。图2是本技术所述的清扫装置的一个应用环境的示例。所示例的环境为高真空系统。如图所示，管路中的气体及扬尘等物质通过其前端200排放出去。需要对图示的管路进行清扫时，可将本技术所述的清扫装置从管路的末端220放入管路中。由于在末端220处有一定的负压(例如_25Kpa)，而本清扫装置又比较轻，所以本技术所述的清扫装置便可沿管路前进，并在前进过程中，由毛刷清扫其所接触到的管路内部部分的灰尘。在本技术所述的一个示例中，第一部分10的横截面最小端部100和第二部分12的横截面最小的端部120分别接触到管路的内壁，便可将管路内壁的粒状积尘击破，从而有助于本清扫装置或管路内的其它清扫装置将被击破的积尘去除。在本技术的又一个示例中，第一部分10的横截面最宽的端部102设置为凹向截面最窄的端部100的弧形，第二部分12的横截面最宽的端部122设置为凹向截面最窄的端部120的弧形，便使得该清扫装置更易于借助管路内的压力向前行进。且在该端部122和102为月牙形结构的情况下，更有聚风作用，从而使得清扫装置更容易行进在管路内。在图2所示例的环境中，清扫装置可从收集器300的下端口 302出来。下端口 302可包括多个开口，这视具体情况而定。将多个清扫装置放入管路中，便可有效地清楚其中的积尘。以上结合附图对本技术所述的清扫装置进行了示意形的描述，本领域技术人员可理解到，清扫装置的各部分可在本技术的精神之内进行变更，例如第一部分和第二部分材料的变化等等。无论何种变形，都应有本技术的权利要求所涵盖。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于清扫管路的清扫装置，其特征在于，所述清扫装置包括清扫装置本体和通过连接轴设置在所述本体的毛刷，其中，所述装置本体包括与连接轴的一端相连接的第一部分及与连接轴的另一端相连接的第二部分，所述第一部分和第二部分均为截面渐变宽的结构，所述第一部分和第二部分截面最宽的端部分别与所述连接轴连接。2.根据权利要求I所述的清扫装置，其特征在于，所述第一部分截面最窄的端部和第二部分截面最窄的端部在清扫装置运行在所述管路内时分别接触该管路的内部。3.根据权利要求2所述的清扫装置，其特征在于，所述第一部分的截面最宽的端部设置为凹向该第一部分截面最窄的端部的弧形，所述第二部分的截面最宽的端部设置凹向该第二部分截面最窄的端部的弧形。4.根据权利要求3所述的清扫装置，其特征在于，所述第一部分...

【专利技术属性】
技术研发人员：于凯歌，
申请(专利权)人：无锡华润上华科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：