泵制造技术

本发明专利技术的泵，设有把空气从吸入口（7）吸引并排出的泵主体（10）、与泵主体（10）的驱动连动把润滑油压送到泵主体（10）的液压泵、配设在吸入口（7）与泵主体（10）间的阀收纳部（6）对阀收纳部（6）进行开闭的反流防止阀（70）、把空气导入反流防止阀（70）的阀缸（74）的大气导入路（19）、和在液压泵未工作时将大气导入路19打开的大气导入阀（60），反流防止阀（70），通过在泵主体（10）停止时泵主体（10）的工作而被减压到大气压以下的阀收纳部（6）的压力、与由随着泵主体（10）的停止而产生的液压泵的停止将大气导入阀（60）开放从而导入阀缸（74）的大气的压力的压差，将吸入口（7）关闭。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术，涉及组装了用来供给润滑油的液压泵的泵。
技术介绍
为了使作为要形成真空的对象的容器等变成真空状态、通过把油旋转真空泵与该容器等直接连接，可以形成理想的排气系统、以最简单且廉价的的方式来实现。但是，在此情况下，在把真空容器维持真空的状态下使油旋转真空泵停止时，由于油旋转真空泵内也变成真空状态，所以油旋转真空泵的润滑油会朝泵的转动体腔(日文口一夕一室)流入，当转动体腔注满了润滑油时把油从泵吸入口朝上游推升。这样，当产生油的反流时，不仅真空配管、真空容器被污染，在后续的真 空排气中通过油的蒸汽使真空容器的气氛被碳化氢污染、使极限压力(日文到達圧力)上升，而且，还会出现在进行真空处理的对象物上析出碳等的不良情况。于是，为了避免这样的不良情况一般使用图I所示的排气系统。即，通过在油旋转真空泵100停止之前把截止阀(Vl)关闭，从而把真空容器101与油旋转真空泵100隔离断开，然后，打开大气导入阀(V2)使油旋转真空泵100的转动体腔回到大气压之后停止。通过在停止时打开大气导入阀(V2)而使油旋转真空泵100的转动体腔回到大气压，从而防止了润滑油的反流。另外，有这样的泵，其为了防止油在上游反流，在从空气的吸入口到泵的转动体腔之间设置截止阀(例如，参照专利文献I)。这样的泵，通过泵主体的驱动把空气从吸入口导入并从排出口排出。而且设置与泵主体连动的液压泵，通过液压泵对泵主体供给润滑油。另一方面，在从吸入口到泵主体之间的流路只能够配设有对吸入口进行开闭的截止阀。截止阀朝使吸入口关闭的方向被加载，被构成为，通过由液压泵压送的润滑油的压力把吸入口打开。如此构成的泵中，泵主体动作时，液压泵也工作，通过液压泵的工作产生的润滑油的压力使截止阀成为打开的状态，可以把空气从吸入口导入泵主体而使真空容器成为真空。当泵主体停止时，液压泵也停止，润滑油的压力降低，因此截止阀在加载力的作用下将吸入口关闭，可以防止润滑油的反流。现有技术文献专利文献专利文献I :日本特开平6 - 200889号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题但是，在图I所示的构成中，对油旋转真空泵100、截止阀VI、大气导入阀V2进行控制的控制系统在真空下运转，所以费用高，而且，必须相当程度地确保用来设置截止阀VI、大气导入阀V2的空间。另外，专利文献I涉及的泵，泵主体停止运转、截止阀将吸入口关闭的状态下，从吸入口到泵主体为止的流路被维持在真空状态。泵主体停止运转时，在润滑油施加大气压。因此，存在这样的问题，即，被大气压推压的润滑油反流到维持真空的流路中，对该流路、截止阀、吸入口的周边造成污染。尤其是存在这样的问题，即，当截止阀与吸入口接触的面发生不良情况，例如因生锈、普建疲劳破坏、夹入了异物等而不能保持气密性时，润滑油会通过其间隙反流到真空容器侧。本专利技术，鉴于这样的情形而提出，目的是提供一种能够可靠防止润滑油流入上游侦牝而且结构简易的泵。用于解决课题的技术手段用于达成上述目的的第I方式为，一种泵，上述泵设有泵主体，该泵主体从吸入口吸引空气、把该空气朝排出口排出；液压泵，该液压泵与上述泵主体的驱动连动地把润滑油压送到上述泵主体；反流防止阀，该反流防止阀配设在上述吸入口与上述泵主体间的流路上，对上述吸入口进行开闭；大气导入路，该大气导入路把压力高于真空的气体导入上 述反流防止阀；和大气导入阀，该大气导入阀在上述液压泵工作时借助被该液压泵压送的润滑油的压力关闭上述大气导入路、在上述液压泵未工作时打开上述大气导入路，当上述泵主体停止时，上述流路内的压力因上述泵主体进行了工作而被减压到大气压以下，上述液压泵随着上述泵主体的停止而停止从而使上述大气导入阀开放，上述反流防止阀被构成为，通过上述被减压到大气压以下的上述流路内的压力与上述导入阀开放而被导入的大气的压力间的压差将上述吸入口关闭。在该第I方式中，当泵主体及液压泵停止时，大气导入阀将大气导入路开放，将空气导入反流防止阀。该空气的压力，高于因泵主体的工作而被减压或处于真空状态的流路的压力。由此，流路的压力与被导入反流防止阀的空气产生压力差，反流防止阀将吸入口关闭。由此，通过泵主体的停止，由反流防止阀将流路封闭，因而可以可靠防止润滑油朝上游侧反流。另外，根据本方式涉及的泵，由于反流防止阀、用来进行其开闭的大气导入阀都设置在泵上，所以，不需要在真空容器与泵间设置在真空下进行动作的控制系统，可以节省空间。另外，反流防止阀的开闭，通过液压泵与泵主体连动、进而与该液压泵连动而将大气导入阀开闭来实现，所以，与现有技术中复杂的设置电气控制系统的情形相比较，可以简易地实现反流防止阀的开闭控制。由此，可以抑制装置(排气系统)的开发、制造的费用。本专利技术的第2方式为，在第I方式记载的泵中，所述泵被构成为，当上述反流防止阀关闭了上述吸入口时，上述大气导入阀开放而把被导入上述反流防止阀的大气导入上述流路侧。在该第2方式中，当泵主体停止运转时，吸入口被反流防止阀关闭。此时，从反流防止阀到泵主体的流路，被来自大气导入路的空气将真空破坏。因此，可以防止被大气压推压的润滑油污染流路、反流防止阀、吸入口的周边。本专利技术的第3方式为，在第2方式记载的泵中，上述反流防止阀具有设置了阀缸的阀支撑体和被收纳在该阀缸中将上述吸入口开闭的阀体，上述大气导入路以把大气导入上述阀缸的方式构成，当上述泵主体停止时，上述流路内的压力因上述泵主体进行了工作而被减压到大气压以下，上述液压泵随着上述泵主体的停止而停止从而使上述大气导入阀开放，上述阀体通过上述被减压到大气压以下的上述流路内的压力与上述导入阀开放而被导入上述阀缸的大气的压力间的压差从上述阀体突出、关闭上述吸入口，在上述阀支撑体上设有将上述阀缸与上述流路连通的连通路。在该第3方式中，可以用构造简易的反流防止阀在泵的运转停止时实现对吸入口的封闭。专利技术效果根据本专利技术，可以可靠防止润滑油流入上游侧，而可以设计构成简易的装置(排气系统)。附图说明 图I是示意地说明现有技术涉及的泵的基本构成的图。图2是把实施方式涉及的泵的主要部分展开了的图。图3是构成泵的液压泵及泵主体的截面图。图4是说明实施方式涉及的泵的动作的主要部分截面图。图5是说明实施方式涉及的泵的动作的主要部分截面图。具体实施例方式以下，根据附图详细说明本专利技术的实施方式。根据图2及图3说明本专利技术的实施方式涉及的泵的构成。如这些图所示，泵I设有设置在基座2上的流路部件3，在流路部件3上设有壳体4。在流路部件3上设有与作为减压或抽真空的对象的设备等连接的吸入部5，另外，设有收纳反流防止阀70(后文中详述)的阀收纳部6。在吸入部5形成作为空气的流路的吸入口 7，吸入口 7与阀收纳部6连通。在壳体4设有把从吸入部5吸入的空气排出的排出部8，在排出部8设有将壳体4内部与外部连通地形成空气的流路的排出口 9。在壳体4内部配设了第I泵主体10和第2泵主体20。第I泵主体10具有设置了第I泵腔13的第I箱体11，和偏心地配设在第I泵腔13内的第I转动体(日文口一夕一)12。在第I转动体12上以在第I泵腔13的内周滑动的方式安装有叶片40，第I泵腔13被叶片40分隔成多个空间。同样，第2泵主体20具有设有第2泵腔23的第2箱体21，和偏心地配设在第2泵腔23内的第2转动体22。叶本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.01.29 JP 2010-0197881.一种泵，所述泵设有 泵主体，该泵主体从吸入口吸引空气、把该空气朝排出口排出； 液压泵，该液压泵与所述泵主体的驱动连动地把润滑油压送到所述泵主体； 反流防止阀，该反流防止阀配设在所述吸入口与所述泵主体间的流路上，对所述吸入口进行开闭； 大气导入路，该大气导入路把压力高于真空的气体导入所述反流防止阀；和 大气导入阀，该大气导入阀在所述液压泵工作时借助被该液压泵压送的润滑油的压力关闭所述大气导入路、在所述液压泵未工作时打开所述大气导入路， 当所述泵主体停止时，所述流路内的压力因所述泵主体进行了工作而被减压到大气压以下，所述液压泵随着所述泵主体的停止而停止从而使所述大气导入阀开放而导入大气，所述反流防止阀被构成为，通过所述被减压到大气压以下...

【专利技术属性】
技术研发人员：丸山光一，相川纯一，代继直人，岩越弘太郎，
申请(专利权)人：ULVAC机工株式会社，
类型：发明
国别省市：