多级真空泵制造技术

目的在于提供一种能够维持高压缩效率，且能够抑制脉动和动力变动的多级真空泵。一种多级真空泵，在被多级连结的各泵室配置有安装于轴的一对转子，一对转子彼此啮合并旋转，从而对吸入的气体进行压缩并排气，其中，对于从泵室的吸气到排气的1冲程的转子的旋转角度C和转子的级数S而言，相邻的泵室的转子的相位角Δθ满足Δθ≤C/S，并且在从基准位置到排气侧凹部的敞开开始点的转子角度为ψ，从气体流动方向上游侧开始，第1级的转子角度为ψ1，第m级的转子角度为ψm，第n级的转子角度为ψn时，以满足ψ1≤ψm≤ψn且ψ1＜ψn的关系的方式调整转子相对于轴的角度，其中，n、m为自然数，且n＞m。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：谷川志郎，
申请(专利权)人：阿耐思特岩田株式会社，
类型：发明
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