砷化镓晶体生长用石英玻璃管的制备方法技术

技术编号:7831176 阅读:225 留言:0更新日期:2012-10-11 06:07
本发明专利技术是一种砷化镓晶体生长用石英玻璃管的制备方法,其特征在于:将石英玻璃原料高纯石英砂投入连熔炉内,通过电加热熔融,熔融后的石英玻璃液经成形器、料台及拉管机拉制成石英玻璃管;所述的高纯石英砂是含有以下掺杂原素的二氧化硅材料。本发明专利技术方法中的原料石英砂的纯度较高,原料掺杂合理,拉制出来的石英玻璃管的气泡气线少,其质量较好,适用的范围较广。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及ー种石英玻璃管的生产方法,特别是ー种神化镓晶体生长用石英玻璃管的制备方法。
技术介绍
现有技术中的石英玻璃管的生产方法存在以下的缺陷原料石英砂的纯度低,原产掺杂不合理,因此所拉制出来的石英玻璃管的气泡气线多,其质量较差,适用的范围较窄。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是针对现有技术的不足,提供ー种新的、掺杂原料合理、使用范围较广的神化镓晶体生长用石英玻璃管的制备方法。本专利技术所要解决的技术问题是通过以下的技术方案来实现的。本专利技术是ー种神化镓晶体生长用石英玻璃管的制备方法,其特点是将石英玻璃原料高纯石英砂投入连熔炉内,通过电加热熔融,熔融后的石英玻璃液经成形器、料台及拉管机拉制成石英玻璃管;所述的高纯石英砂是含有以下掺杂原素的ニ氧化硅材料,単位PPM, Al 10. 0-11. O ; B O. 1-0. 3 ; Ca O. 7-0. 9 ; Cr O. 01-0. 03 ; Cu O. 001-0. 01 ; Fe O. 05-0. 10 ; K O. 1-0. 2 ;Li 0.05-0. 10 ; Mg 0.03-0.07 ; Mn O. 05-0.08 ; Na O. 15-0. 25 ; Ni O. 04-0. 06 ; P O. 1-0. 3Ti I. 5-2.0 ; Zr 0.20-0.50。以上所述神化镓晶体生长用石英玻璃管的制备方法中所述的高纯石英砂是优选含有以下掺杂原素的ニ氧化硅材料,单位PPM, Al 10. 50 ; B O. 2 ; Ca 0.8 ; Cr O. 02 ; Cu O. 005 ; Fe O. 08 ; K O. 15 ;Li 0.08 ; Mg 0.05 ; Mn 0.07 ;Na O. 20 ; Ni 0.05 ; P O. 2 ;Ti 1.80 ; Zr O. 35。与现有技术相比,本专利技术石英玻璃管的原料石英砂的纯度较高,原料掺杂合理,拉制出来的石英玻璃管的气泡气线少,其质量较好,适用的范围较广。具体实施例方式下面进ー步描述本专利技术的具体技术实施方案,以使本领域技术人员进ー步理解本专利技术,而非对本专利技术的限制。实施例I。ー种神化镓晶体生长用石英玻璃管的制备方法,将石英玻璃原料高纯石英砂投入连熔炉内,通过电加热熔融,熔融后的石英玻璃液经成形器、料台及拉管机拉制成石英玻璃管;所述的高纯石英砂是含有以下掺杂原素的ニ氧化硅材料,単位PPM, Al 10. O ; B O. I ; Ca O. 7 ; Cr 0.01; Cu 0.001; Fe 0.05; K O. I ;Li 0.05 ; Mg 0.03 ; Mn O. 05 ; Na O. 15 ;Ni O. 04 ; P O. I ;Ti 1. 5 ; Zr O. 20。实施例2。ー种神化镓晶体生长用石英玻璃管的制备方法,将石英玻璃原料高纯石英砂投入连熔炉内,通过电加热熔融,熔融后的石英玻璃液经成形器、料台及拉管机拉制成石英玻璃管;所述的高纯石英砂是含有以下掺杂原素的ニ氧化硅材料,単位PPM, Al 11.0 ; B O. 3 ; Ca 0.9 ; Cr 0.03 ; Cu 0.01 ; Fe O. 10 ; K O. 2 ;Li O. 10 ; Mg 0.07 ; Mn 0.08 ; Na O. 25 ; Ni0.06 ; P O. 3Ti 2.0 ; Zr O. 50。实施例3。ー种神化镓晶体生长用石英玻璃管的制备方法,将石英玻璃原料高纯石英砂投入连熔炉内,通过电加热熔融,熔融后的石英玻璃液经成形器、料台及拉管机拉制成石英玻璃管;所述的高纯石英砂是含有以下掺杂原素的ニ氧化硅材料,単位PPM, Al 10. 50 ; B O. 2 ; Ca 0.8 ; Cr O. 02 ; Cu O. 005 ; Fe O. 08 ; K O. 15 ;Li 0.08 ; Mg 0.05 ; Mn 0.07 ;Na O. 20 ; Ni 0.05 ; PO. 2 ;Ti 1.80 ; Zr O. 35。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.ー种神化镓晶体生长用石英玻璃管的制备方法,其特征在于将石英玻璃原料高纯石英砂投入连熔炉内,通过电加热熔融,熔融后的石英玻璃液经成形器、料台及拉管机拉制成石英玻璃管;所述的高纯石英砂是含有以下掺杂原素的ニ氧化硅材料,単位PPM, Al 10. 0-11. O ; B O. 1-0. 3 ; Ca O. 7-0. 9 ;Cr O. 01-0. 03 ; Cu O. 001-0. 01 ; Fe O. 05-0. 10 ; K O. 1-0. 2 ;Li 0.05-0. 10 ; Mg 0.03-0.07 ; Mn O. 05-0. 08 ; Na O. 1...

【专利技术属性】
技术研发人员:吕德润濮晓明濮阳坤陶明顿张尧王光才汤书银
申请(专利权)人:连云港福东正佑照明电器有限公司
类型:发明
国别省市:

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